道教給地獄囚徒餓鬼之施食活動遠在唐代以前。
南朝劉宋時期《正一法文經章官品》稱“北曹五千君官將百二十人，治朱陽室，主收天地父母從民責飲食之鬼”。經中已有鬼從民求飲食之語，鬼飢而求食，故有施食於鬼之法。
唐初《藝文類聚》卷4中有:“七月十五中元之日，地官校勾搜選人間，分別善惡，諸天聖眾，並詣宮中，簡定劫數，人鬼傳籙，餓鬼囚徒，一時皆集。以其日作玄都大獻於玉京山，採諸花果，珍奇異物，幢幡寶蓋，清膳飲食，獻諸聖眾。道士於其日夜講誦是經，十方大聖，齊詠靈篇，囚徒餓鬼俱飽滿，免於眾苦，得還人中。”據劉仲宇先生考證，《藝文類聚》所言，實節抄於《太上洞玄靈寶三元玉京玄都大獻經》，此經現存於《道藏》。而引文所稱“講誦是經”，即《玄都大獻經》，經中已有完備的齋儀。但此乃施食活動，尚未形成固定的施食科儀。
南宋《清靈寶大法》與《靈寶領教濟度金書》皆有施食科儀之名目與內容。如《靈寶領教濟度金書》“開度黃篆齋五日節目”的第二天“夜中，召攝正度魂靈及七祖九幽亡者，身後冤仇，赴壇沐浴，全形醫治，解結，咒獻法食 ”，第三天夜中“修設玄都大獻，玉山淨供，普召六道四生諸類幽魂，饗食受煉，傳戒往生”。《靈寶領教濟度金書》卷310中稱“諸施食，所謂玉山淨供，所謂甘露淨供，所謂祭煉，均一法耳，特科儀有詳略也”。既言施食與祭煉為一法，則可知當時二者乃我中有你，你中有我。
而明初所輯《道法會元》卷207已有題為施食儀之科儀，其中並無祭煉的內容。據陳耀庭先生考察:“現存的獨立的道教施食科儀的經本有兩種，一種就是《廣成儀制》中的《太上清微祭煉救苦鐵罐鴻儀》......一種就是現存於東京大學的光緒刊本《靈寶施食濟度金書》......這兩種可能形成於明清時期的施食科儀。有一點是相同的，那就是已經沒有水火交煉的內容。因此，可以說它們是道教的獨立而純粹的施食科儀。”
綜上所言，可得施食發展軌跡之大略：玄都大獻即施食，而其與煉之結合，則約定型於宋代；明清時期，更有日趨完備而獨立之施食科儀出現。因此，就主流而言，施食科儀經歷了從粗淺而未科儀化的活動，進而與祭煉之結合，最終形成完備而詳盡並具獨立科儀的發展過程。
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