六氟化硫斷路器是以SF6氣體作為滅弧介質和絕緣介質的一種斷路器。 在20世紀50年代初，研究人員發現六氟化硫這種氣體具有滅弧和絕緣的優異特性，於是研究人員便把這種氣體作為滅弧介質用在斷路器上，使這種斷路器單斷口在電壓和電流參數方面大大高於壓縮空氣斷路器和油斷路器，並且不需要高的氣壓和相當多的串聯斷口數。另外，由於六氟化硫斷路器具有開斷能力強，斷口電壓做得較高，允許連續開斷較 多次數，適用於頻繁操作，且噪音小，無火災危險等優點，於是在20世紀60～70年代，六氟化硫斷路器就被廣泛用於電力系統中。
六氟化硫斷路器的廣泛應用，也讓他的缺點也越來越明顯。由於六氟化硫氣體所分解產物對人體有害，被電擊後容易產生劇毒，而且該氣體無色無味在密閉的環境下如果洩露容易讓人窒息。所以該氣體斷路器對加工工藝與材 料要求較高，對斷路器密封性能要求較高。因此要採用專門措施，防止低氟化物對 人體或材料產生危害。《京都議定書》也要求強制淘汰六氟化硫設備。
所以他的競爭對手真空斷路器也適時出現，高壓真空斷路器因其滅弧介質和滅弧後觸頭間隙的絕緣介質都是高真空而得名，他具有體積小、重量輕、適用於頻繁操作、滅弧不用檢修的優點，現已在配網供電中應用較為普及，以現在的速度發展下去，六氟化硫斷路器必將被真空斷路器所取代。
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