2018-09-09 09:18 | 都市快報
林本堅
9月8日下午，備受關注的2018年未來科學大獎在北京揭曉。
李家洋、袁隆平、張啟發因系統性地研究水稻特定性狀的分子機制和採用新技術選育高產優質水稻新品種中的開創性貢獻摘得“生命科學獎”。
馬大為、馮小明、周其林在發明新催化劑和新反應方面的創造性貢獻，為合成有機分子，特別是藥物分子提供了新途徑，因此獲得“物質科學獎”。
林本堅因開拓浸潤式微影系統方法，持續擴展納米級集成電路製造，將摩爾定律延伸多代取得的成就榮膺“數學與計算機科學獎”。
未來科學大獎成立於2016年，作為中國第一個民間發起的科學獎項，單項獎金為100萬美元，評審體系主要參考諾貝爾獎等國際著名獎項。
在今年獲獎者中，來自臺灣的林本堅教授尤其出人意料。他獲獎的代表性工作，正是來自今年頗受關注的芯片領域。當年，包括英特爾等在內的一大批國際巨頭，捨棄耗資巨大的研究積累，追隨其技術標準。
誰是林本堅？
摩爾定律大意是指芯片上可容納的晶體管數目，約每隔兩年便會增加一倍。一般來說，晶體管越小，芯片就越快，耗能越少。
已經成功維持了半個多世紀的摩爾定律令世界發生了巨大的改變。從笨重的大型臺式電腦一步步演變到今日的智能手機，設備變得越來越小，而計算能力卻越來越強大。推動這一切的背後有許多的英雄，林本堅毫無疑問是其中的一位。
具體來說，他持續地推動了芯片製造中先進光刻技術的發展。光刻，目的是把畫了很多電路的模板進一步縮小放到芯片上，這有點像照相機。到底縮小到怎樣的程度呢？比如，一根頭髮絲的橫截面是80微米，也就是80000納米，如果用28納米的工藝，要放下20000個單元。把如此龐大的電路縮放到小小的芯片上，難度可想而知。
2002年，林本堅發明了“浸潤式微影技術”，徹底改變了集成電路的生產。這項技術是在透鏡和硅片表面的間隙中，用水代替空氣以提高分辨率。
當時全世界的半導體研發團隊都在專注於157納米波長技術，林本堅創造性地以193納米波長的光，通過水作為介質，將其縮短至134納米，震驚世界。他孜孜不倦地通過各種國際研討會說服同行使用該技術，由此繼續將摩爾定律延續下去。
曾在IBM辦公室牆上貼布告抗議
“X光只是給牙醫用的”
林本堅的父母早先時候居住在香港，在抗戰時期逃到相對安全的越南，林本堅便出生在那裡。在越南，他一方面接受中國式的教育，另一方面因父親曾是一所英文學校的校長，為他學習英文打下了紮實基礎。
在高中的最後一年，17歲的他到臺灣新竹高級中學讀書，後來考入臺灣大學的電機系並獲得電機學士。此後，林本堅赴美讀書，於1970年獲得美國俄亥俄州立大學電機工程博士。
畢業後，他本來想進入一家光學公司，但“誤打誤撞”進了IBM。他沒想到的是，在光學方面的訓練倒是在半導體成像方面幫了他很大的忙。這樣，從光學設計轉到半導體技術，他在IBM不斷提高成像技術，一干就是22年。
不過，當時的IBM，他的技術路線不被看好，處在研發階段，誰都不知道哪一條路會成功。
當時的IBM有很多人是學物理出身，他們認為，把深紫外線縮到250多納米，用X光可以做到甚至更低一點。當時的IBM花很多力氣去研究X光方面，而林本堅堅持認為，到250納米之後，光學微影是很有前途的。
為了“抗議”公司主流的技術路線，林本堅寫了一個大的佈告，貼到辦公室的牆上，說“X光只是給牙醫用的”，執拗可見一斑。
他讓臺灣半導體產業躋身世界前列
離開IBM，林本堅選擇了創業，成立了Linnovation，發展與光刻相關的軟件以及其他技術。但8年之後，由於最大的競爭對手被大公司收購，他無力與之競爭。恰在這時，臺積電來電話邀請他加盟，經過一番瞭解後，林本堅欣然應允。
臺積電全稱臺灣積體電路製造股份有限公司，是全球知名的半導體制造公司。
2000年，林本堅回到臺灣，加入了臺積電。那時，全世界都在走157納米波長的微影蝕刻技術，不過，林本堅認為這個技術遇到了難以突破的瓶頸，需要另覓他途。2002年，他開創性地發明浸潤式微影這項顛覆性技術，扭轉了技術潮流，成功引領了全世界的半導體研發。
臺積電董事長張忠謀曾稱，假如沒有林本堅及其團隊，“臺積電的微影（半導體關鍵製程之一）不會有今天這規模。”
林本堅曾是臺積電的研發副總裁和傑出研究員。作為IEEE終身研究員、美國國家工程院院士，他還獲得了IEEE Cledo Brunetti獎（2009年）和Jun-ichi Nishizawa Medal Award（2013）等獎項。
林本堅說，他沒有把獲獎設定為目標，重要的是他的工作對公司或者技術社區有用，獎勵只是一個副產品。從臺積電退休後，他被聘為臺灣清華大學教授，為培養半導體研究的人才繼續貢獻力量。
【浙江新聞+】
未來科學大獎成立於設立於2016年1月17日，設置“生命科學獎”和“物質科學獎”、“數學與計算機科學獎”三大獎項。單項獎金為100萬美元。
生命科學獎捐贈人：
金沙江創投董事、總經理丁健
高瓴資本集團創始人張磊
紅杉資本全球執行合夥人沈南鵬
物質科學獎捐贈人：
北極光創投創始人兼董事總經理鄧鋒
龍湖集團董事長吳亞軍
中澤嘉盟投資基金董事長吳鷹
真格基金創始人徐小平
數學與計算機科學獎捐贈人：
網易公司創始人丁磊
分眾傳媒創始人、董事長江南春
騰訊公司首席執行官馬化騰
真格基金聯合創始人王強
未來科學大獎強調獎勵在大中華地區完成，產生巨大國際影響，具有原創性、長期重要性或經過了時間考驗的科研工作，不論其國籍、性別和年齡，旨在推動突破性基礎科學研究，表彰優秀科學家，吸引全球科技人才，促進科學事業發展。
2016年獲獎者名單
生命科學獎獲獎者
盧煜明，生於香港，分子生物學臨床應用專家。
獲獎理由：表彰他基於孕婦外周血中存在胎兒DNA的發現，在無創產前胎兒基因檢查方面做出的開拓性貢獻。
物質科學獎獲獎者
薛其坤，1963年生於中國山東，1994年在中國科學院物理研究所獲得博士學位，現為清華大學教授。
獲獎理由：表彰他在利用分子束外延技術發現量子反常霍爾效應和單層鐵硒超導等新奇量子效應方面做出的開拓性工作。
2017年獲獎者名單
生命科學獎獲獎者
施一公，現任西湖大學校長。
獲獎理由：表彰他在解析真核信使RNA剪接體這一關鍵複合物的結構，揭示活性部分及分子層面機理的重大貢獻。
物質科學獎獲獎者
潘建偉，“墨子號”量子科學實驗衛星首席科學家，浙江東陽人。
獲獎理由：表彰他在量子光學技術方面的創造性貢獻，使基於量子密鑰分發的安全通信成為現實可能。
數學與計算機科學獎獲獎者
許晨陽，2013年成為北京國際數學研究中心教授。
獲獎理由：表彰他在雙有理代數幾何上做出的極其深刻的貢獻。
（原標題《2018年未來科學大獎揭曉 來自臺灣的林本堅教授獲“數學與計算機科學獎”》。編輯王馭時）
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