2018年未来科学大奖揭晓 来自台湾的林本坚教授获“数学与计算机科学奖”

2018-09-09 09:18 | 都市快报

2018年未来科学大奖揭晓 来自台湾的林本坚教授获“数学与计算机科学奖”

林本坚

9月8日下午,备受关注的2018年未来科学大奖在北京揭晓。

李家洋、袁隆平、张启发因系统性地研究水稻特定性状的分子机制和采用新技术选育高产优质水稻新品种中的开创性贡献摘得“生命科学奖”。

马大为、冯小明、周其林在发明新催化剂和新反应方面的创造性贡献,为合成有机分子,特别是药物分子提供了新途径,因此获得“物质科学奖”。

林本坚因开拓浸润式微影系统方法,持续扩展纳米级集成电路制造,将摩尔定律延伸多代取得的成就荣膺“数学与计算机科学奖”。

未来科学大奖成立于2016年,作为中国第一个民间发起的科学奖项,单项奖金为100万美元,评审体系主要参考诺贝尔奖等国际著名奖项。

在今年获奖者中,来自台湾的林本坚教授尤其出人意料。他获奖的代表性工作,正是来自今年颇受关注的芯片领域。当年,包括英特尔等在内的一大批国际巨头,舍弃耗资巨大的研究积累,追随其技术标准。

谁是林本坚?

摩尔定律大意是指芯片上可容纳的晶体管数目,约每隔两年便会增加一倍。一般来说,晶体管越小,芯片就越快,耗能越少。

已经成功维持了半个多世纪的摩尔定律令世界发生了巨大的改变。从笨重的大型台式电脑一步步演变到今日的智能手机,设备变得越来越小,而计算能力却越来越强大。推动这一切的背后有许多的英雄,林本坚毫无疑问是其中的一位。

具体来说,他持续地推动了芯片制造中先进光刻技术的发展。光刻,目的是把画了很多电路的模板进一步缩小放到芯片上,这有点像照相机。到底缩小到怎样的程度呢?比如,一根头发丝的横截面是80微米,也就是80000纳米,如果用28纳米的工艺,要放下20000个单元。把如此庞大的电路缩放到小小的芯片上,难度可想而知。

2002年,林本坚发明了“浸润式微影技术”,彻底改变了集成电路的生产。这项技术是在透镜和硅片表面的间隙中,用水代替空气以提高分辨率。

当时全世界的半导体研发团队都在专注于157纳米波长技术,林本坚创造性地以193纳米波长的光,通过水作为介质,将其缩短至134纳米,震惊世界。他孜孜不倦地通过各种国际研讨会说服同行使用该技术,由此继续将摩尔定律延续下去。

曾在IBM办公室墙上贴布告抗议

“X光只是给牙医用的”

林本坚的父母早先时候居住在香港,在抗战时期逃到相对安全的越南,林本坚便出生在那里。在越南,他一方面接受中国式的教育,另一方面因父亲曾是一所英文学校的校长,为他学习英文打下了扎实基础。

在高中的最后一年,17岁的他到台湾新竹高级中学读书,后来考入台湾大学的电机系并获得电机学士。此后,林本坚赴美读书,于1970年获得美国俄亥俄州立大学电机工程博士。

毕业后,他本来想进入一家光学公司,但“误打误撞”进了IBM。他没想到的是,在光学方面的训练倒是在半导体成像方面帮了他很大的忙。这样,从光学设计转到半导体技术,他在IBM不断提高成像技术,一干就是22年。

不过,当时的IBM,他的技术路线不被看好,处在研发阶段,谁都不知道哪一条路会成功。

当时的IBM有很多人是学物理出身,他们认为,把深紫外线缩到250多纳米,用X光可以做到甚至更低一点。当时的IBM花很多力气去研究X光方面,而林本坚坚持认为,到250纳米之后,光学微影是很有前途的。

为了“抗议”公司主流的技术路线,林本坚写了一个大的布告,贴到办公室的墙上,说“X光只是给牙医用的”,执拗可见一斑。

他让台湾半导体产业跻身世界前列

离开IBM,林本坚选择了创业,成立了Linnovation,发展与光刻相关的软件以及其他技术。但8年之后,由于最大的竞争对手被大公司收购,他无力与之竞争。恰在这时,台积电来电话邀请他加盟,经过一番了解后,林本坚欣然应允。

台积电全称台湾积体电路制造股份有限公司,是全球知名的半导体制造公司。

2000年,林本坚回到台湾,加入了台积电。那时,全世界都在走157纳米波长的微影蚀刻技术,不过,林本坚认为这个技术遇到了难以突破的瓶颈,需要另觅他途。2002年,他开创性地发明浸润式微影这项颠覆性技术,扭转了技术潮流,成功引领了全世界的半导体研发。

台积电董事长张忠谋曾称,假如没有林本坚及其团队,“台积电的微影(半导体关键制程之一)不会有今天这规模。”

林本坚曾是台积电的研发副总裁和杰出研究员。作为IEEE终身研究员、美国国家工程院院士,他还获得了IEEE Cledo Brunetti奖(2009年)和Jun-ichi Nishizawa Medal Award(2013)等奖项。

林本坚说,他没有把获奖设定为目标,重要的是他的工作对公司或者技术社区有用,奖励只是一个副产品。从台积电退休后,他被聘为台湾清华大学教授,为培养半导体研究的人才继续贡献力量。

【浙江新闻+】

未来科学大奖成立于设立于2016年1月17日,设置“生命科学奖”和“物质科学奖”、“数学与计算机科学奖”三大奖项。单项奖金为100万美元。

生命科学奖捐赠人:

金沙江创投董事、总经理丁健

高瓴资本集团创始人张磊

红杉资本全球执行合伙人沈南鹏

物质科学奖捐赠人:

北极光创投创始人兼董事总经理邓锋

龙湖集团董事长吴亚军

中泽嘉盟投资基金董事长吴鹰

真格基金创始人徐小平

数学与计算机科学奖捐赠人:

网易公司创始人丁磊

分众传媒创始人、董事长江南春

腾讯公司首席执行官马化腾

真格基金联合创始人王强

未来科学大奖强调奖励在大中华地区完成,产生巨大国际影响,具有原创性、长期重要性或经过了时间考验的科研工作,不论其国籍、性别和年龄,旨在推动突破性基础科学研究,表彰优秀科学家,吸引全球科技人才,促进科学事业发展。

2016年获奖者名单

生命科学奖获奖者

卢煜明,生于香港,分子生物学临床应用专家。

获奖理由:表彰他基于孕妇外周血中存在胎儿DNA的发现,在无创产前胎儿基因检查方面做出的开拓性贡献。

物质科学奖获奖者

薛其坤,1963年生于中国山东,1994年在中国科学院物理研究所获得博士学位,现为清华大学教授。

获奖理由:表彰他在利用分子束外延技术发现量子反常霍尔效应和单层铁硒超导等新奇量子效应方面做出的开拓性工作。

2017年获奖者名单

生命科学奖获奖者

施一公,现任西湖大学校长。

获奖理由:表彰他在解析真核信使RNA剪接体这一关键复合物的结构,揭示活性部分及分子层面机理的重大贡献。

物质科学奖获奖者

潘建伟,“墨子号”量子科学实验卫星首席科学家,浙江东阳人。

获奖理由:表彰他在量子光学技术方面的创造性贡献,使基于量子密钥分发的安全通信成为现实可能。

数学与计算机科学奖获奖者

许晨阳,2013年成为北京国际数学研究中心教授。

获奖理由:表彰他在双有理代数几何上做出的极其深刻的贡献。

(原标题《2018年未来科学大奖揭晓 来自台湾的林本坚教授获“数学与计算机科学奖”》。编辑王驭时)


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