为什么中国人自己不会做光刻机,它的核心技术是什么?

总部位于荷兰的ASML脱胎于飞利浦,于1984年成立,至今所经营的产品主要还是光刻机。ASML凭借自己多年在行业中所积累的技术和经验,在2017年取得的收入又创出新高,净利润也同步大增。ASML的收入大致分为两个部分,一个是通过向客户供应极紫外EUV、深紫外DUV光刻机等设备获得的收入(在ASML当年的营收中占比达七成左右),另一个就是为客户提供设备安装、系统升级等服务获得的收入(在ASML当年的营收中占比约三成)

为什么中国人自己不会做光刻机,它的核心技术是什么?

厂商在制造芯片的过程,其实是个相当复杂的过程,芯片是多个学科共同作用的结晶

光刻机原理是把高精密底片底版投射到晶原片上。难的是精度。需要精密的光学镜头,和精密的对焦稳定,和散射极低的光源激光。镜头虚,有云翳,不行,对焦丝扣不匀不细,不稳,不行。光源散射也不行。要比千分尺(螺旋测微器)更细更稳。

用螺旋测微器原理,精密螺纹调焦对焦,稳定相距焦平面。

工作台的膨胀,减震,连续工作的精准。都对精度要求极高。

小试验室小作坊,做一两个己经很难,大批量生产,精度就更难。

为什么中国人自己不会做光刻机,它的核心技术是什么?

其实这些年来,国内早就有设备厂商,以及研究机构在对光刻机进行研发。如上海微电子、中电科四十五所、中电科四十八所等

为什么中国人自己不会做光刻机,它的核心技术是什么?

有志于此的公司和青年人,可以尝试用光刻机先刻平台对焦螺纹,这比车床精密多了,用光刻机刻出的对焦螺纹,和对焦平台,配上用光刻机刻的底版,再往硅原片上刻。别怕,咱中国有的是硅原片,供的起搞研发。


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