光刻機突圍:中企出資,擬與尼康、佳能共同研發

除華為外,國內晶圓大廠半導體進口設備也遭斷供,另據路透社報道,美國正考慮對半導體制造設備及相關軟件、激光器、傳感器等技術的出口進行新的限制,美對我半導體產業的打壓已有蔓延之勢。

光刻機突圍:中企出資,擬與尼康、佳能共同研發

多輪限制出口後,不僅讓人看清美國不遺餘力保住自己的領先優勢,同時也讓人看清國內半導體產業的薄弱環節——芯片製造,而光刻機作為芯片製造的七大核心設備最重要的一個,是繞不過去的坎,沒有自己的光刻機,腰桿始終挺不直。

自主與合作

光刻機突圍:中企出資,擬與尼康、佳能共同研發

光刻機被譽為“半導體工業皇冠上的明珠”,要造出造芯片的機器,並不是一件容易的事,它不僅僅是擁有約10萬個零部件般複雜,也不僅僅是集合了數學、光學、流體力學、自動化、圖像識別等10餘個領域般綜合,還要都是頂級的,一個技術突破不算突破,全部突破才算整體前進一步,這是最難的。

光刻機突圍:中企出資,擬與尼康、佳能共同研發

說阿斯麥光刻機代表西方製造工業的最高水平並不為過,一臺最先進的EUV光刻機,鏡頭來自德國卡爾蔡司,大功率光源來自美國賽摩,精密加工技術來自瑞典,浸沒雙工作臺來自荷蘭,特殊複合材料來自日本等等,在阿斯麥供應商中有很多隱形冠軍,它們可能並不太知名,但無法忽視的是,這些幾乎都是同行業中的佼佼者。

光刻機突圍:中企出資,擬與尼康、佳能共同研發

如果說在某一個領域做好或許不是難事,比如中微公司2017年就成功研發出了世界上第一臺5納米刻蝕機,但這並不代表國內芯片製造工藝達到5納米水平,到目前為止最先進的國產光刻機僅為90納米,最薄弱的環節才代表真實的水平,國產光刻機要出頭,勢必要做到與阿斯麥更接近的水平,但也意味著要在細分領域全部做好。

光刻機突圍:中企出資,擬與尼康、佳能共同研發

阿斯麥光刻機

誰也不是三頭六臂,神通廣大,造好光刻機,除了發展自主技術,開放合作是很有必要的。

日經的橄欖枝

最近日經新聞有一篇關於中國半導體產業的報道,文章指出,隨著美國的封鎖和打壓,長遠來看,美國此舉可能會助推重工半導體產業的自立與發展,目前中國半導體仍可迂迴以對。

文章主要提到幾點:

一是中國有1000多家新興的半導體相關公司,如果華為和中芯從這些公司購買進口的半導體芯片、設計軟件以及生產設備,實際上就可以進行半導體採購並擴充製造設備;Synopsis共同執行長Aart de Geus表示:“在中國有很多半導體相關企業(除華為外)都在大量購買,這種情況無法避免國內的轉售。”

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二是聯發科對美國的銷售額很少,該公司雖已停止對華為供貨,但也有可能會繼續接受華為的訂單並準備接受美國製裁,聯發科可以在不投訴最終用戶詳細信息的情況下訂單生產,臺積電同樣可以。

對上世紀70/80年代崛起的日本半導體產業來說,通過不同的方法將技術從美國帶回日本,從模仿再到超越,成就90年代的半導體霸主是可能的,但時代背景不同,通過規避限制出口並不是長遠之計,SWIFT跨國結算系統掌握在美國手上,所有國際賬戶信息,都在美國的掌控之中,會導致更多的企業被限制。

文章提到的另一方案或許更有前景,EUV以外的光刻機,日本的尼康和佳能也可以製造,業界有關人士表示:“中國企業擬向兩家日本公司提供資金,要求共同開發除EUV以外的新型光刻機。”

光刻機突圍:中企出資,擬與尼康、佳能共同研發

目前只有荷蘭的阿斯麥能夠製造EUV光刻機,而大部分基礎技術的知識產權都由美國掌握,如果走別人的路,知識產權的約束會很多,當芯片製程工藝接近摩爾定律極限,3D堆疊技術正在成為延續摩爾定律的主角,研發新的光刻機或許是彎道超車的機會,就像2000年前後阿斯麥憑藉浸入式光刻技術超越尼康一樣,每一次彎道超車都離不開新技術、新材料的顛覆。

當年美國建立EUV LLC聯盟搞高端光刻機,幾乎半導體業界所有的巨頭都被邀請來了,唯獨尼康排除在外,最後單打獨鬥的尼康,自然幹不過人家聯盟,不知尼康是否因此耿耿於懷?如今國產光刻機需要合作,尼康正好有技術積累,尼康是否有心被阿斯麥碾壓二十年後再扳回一城?結果值得期待。

光刻機突圍:中企出資,擬與尼康、佳能共同研發

尼康光刻機

現在尼康最先進的光刻機是45-22納米,雖然跟阿斯麥有幾代的差距,但在單打獨鬥的日子裡,技術幾乎都是自己的,受美國方面的制約更少。

結語

2012年日本存儲芯片企業爾必達被美光收購,去年11月,原社長坂本幸雄就任紫光集團高級副總裁,紫光旗下核心企業長江存儲主打存儲芯片;

曾就職瑞晶總經理的陳正坤,後瑞晶被美光收購,陳正坤加入聯電,後來到大陸協助福建晉華建存儲芯片廠,當被問及為什麼加入聯電和中國大陸DRAM技術合作研發計劃,陳感性地說,當年瑞晶被兼併對他衝擊很大,且自主開發DRAM技術一直是他心中的夢想,希望這個夢想在這裡播種開花。

中國半導體產業崛起,除了開放合作,還要找到合適的人。


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