等离子清洗机：是一款用于表面处理的低温等离子表面改性设备。广泛应用于等离子清洗、刻蚀、镀、涂覆、灰化和表面改性等场合。通过其处理，能够改善材料的润湿程度，使多种材料能够进行涂覆、镀等操作。等离子清洗是一种轻微的刻蚀，等离子体的表面清洗能很快去除金属表面的油脂、油污等有机物和氧化层，在进行溅射、油漆、粘合、键合、焊接、铜焊、PVD、VCD和涂覆前，用等离子处理能得到完全的洁净和无氧化层的表面。
深圳诚峰智造公司
等离子清洗机设备的原理是在真空状态下，利用射频辐射使得氧、氩、氮、四氟化碳等气体生成具有高反应活性的离子与器件等反应形成挥发性化合物，然后由真空系统将这些挥发性物质清除出去。
等等离子清洗机设备应用于刻蚀硅片边沿的硅鳞层，扩散过程中，不但硅片的表面扩散上了磷，硅片边缘也扩散上了磷，这会导致硅片正反两极通过边缘导通短路。所以必须将硅片边缘这层被扩散上的硅磷去掉，大概去除1-3UM。硅片在刻蚀机内水平旋转，通入的反应气体为四氟化碳、氧气和氮气。其原理是在放电状态下反应气体四氟化碳、氧气和硅片边缘的硅发生反应，反应形成粉末和气态物质后随气流一起被抽走等。
真空等离子处理机
产品特点：超大处理空间，提升处理产能，采用PLC+触摸屏控制系统，精确的控制设备运行。
可按照客户要求定制设备腔体容量和层数，满足客户的需求。
保养维修成本低，便于客户成本控制。
高精度，快响应，良好的操控性和兼容性，完善的功能和专业的技术支持。
CRF-Plasma 等离子技术解决方案
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