ASML公司再發力!1nm工藝EUV光刻機投入研發,性能暴增70%

ASML公司再發力!1nm工藝EUV光刻機投入研發,性能暴增70%。在美國加大對我國中興和華為的制裁力度後,自研芯片又在我國市場中掀起了一場浪潮,各大公司紛紛投入了“中國芯”的研發之中,因為只有實現芯片的自主研發,才能真正不受制於人,然而,華為等公司研發芯片,也僅僅侷限於設計上,在芯片的生產上,華為還是需要尋求臺積電進行代工,這是為什麼呢?實際上,是因為我國無法制造先進的光刻機。

ASML公司再發力!1nm工藝EUV光刻機投入研發,性能暴增70%

說起光刻機,就不得不提起一個公司,它就是荷蘭的ASML公司,截至2020年,全球光刻機市場依然被荷蘭ASML這一家公司壟斷,資料顯示,目前90%的光刻機都來自於ASML,另外,目前最先進的高端EUV光刻機也由ASML公司獨家掌握,可以說在光刻機的生產上,ASML公司佔據著絕對的優勢。

近年來,芯片的製程工藝一直在不斷提升,從最初的28nm工藝,到14nm工藝,再到10nm、7nm工藝,甚至5nm工藝,這實際上都歸功於光刻機的提升。目前,ASML公司還在加快光刻機的開發進程,據外媒報道,ASML公司目前正計劃研發最新一代的EUV光刻機,並且這代光刻機將有望在2022年面世。

目前,ASML公司主要出口的光刻機型號為NXE:3400C,這款光刻機採用了目前最先進的模塊化設計。由於舊版光刻機的結構十分複雜,零件數目多達10萬個,維護起來非常困難,而採用模塊化設計的光刻機維護起來十分方便,不易損壞,還能同時支持7nm和5nm這兩種先進的製程工藝,目前,三星和臺積電等芯片生產商已經成熟掌握7nm芯片工藝,市面上最新的驍龍865、麒麟990均採用7nm工藝,另外據臺積電負責人介紹,臺積電將在下個月開始生產最先進的5nm芯片,這個好消息讓半導體行業徹底沸騰了。

然而,ASML公司可能覺得5nm工藝還不夠,因為更高的工藝代表著更高的性能和更低的功耗,簡單的來說,就是能耗比的提升。據相關人員透露,這一次ASML公司決定投入研發最新一代的EUV光刻機,也就是EXE:5000系列。卡爾蔡司、IMEC比利時微電子等公司都將參與到這款光刻機的研發中,據透露,其性能相比上代光刻機將提高70%左右,更令人興奮的是,這次的光刻機將有望突破2nm製程工藝,實現更先進的1nm工藝。


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