1972年中國就研製出了光刻機，那時光刻機巨頭ASML還沒誕生，還出過一本32開66頁《光刻掩模版的製造》的論著？》圍繞“光刻機”這一關鍵詞的話題真火，發佈的幾條相關內容都評上了“豹紋”，閱讀量輕輕鬆鬆上百萬甚至破千萬、評論成千上萬，可見熱度非同一般。為什麼無法“復刻”？物鏡系統唯有卡爾蔡司才能搞定？荷蘭ASML公司到底賣不賣產品給我們？
隨後，我們收到了一些網友提供的線索，順藤摸瓜之後發現，還真不是中國人造不出光刻機！我國60年代就曾佈局過光刻機且技術先進，那時光刻機巨頭ASML還沒誕生，直到70年代，ASML仍是小字輩。
1972年，武漢無線電元件三廠編寫的《光刻掩模版的製造》，32開66頁。中國芯片光刻工藝研究起步，雖比美國稍晚，但跟日本差不多同時起步，比韓國、臺灣早10年。
1965年中國科學院研製出65型接觸式光刻機。1970年代，中國科學院開始研製計算機輔助光刻掩模工藝。清華大學研製第四代分步式投影光刻機，並在1980年獲得成功，光刻精度達到3微米，接近國際主流水平。
但是很可惜，中國在1980年代放棄電子工業，諸如光刻機等科技計劃被迫下馬，導致20年技術積累，全部付諸東流。1994年武漢無線電元件三廠破產改制，賣副食品去了。哎，如果當年抓住機會，中國的芯片不至於幾乎全部依賴進口，進口芯片的錢比進口石油花得還多。小夥伴們怎麼看？不敢相信吧？
文稿摘自網絡
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