1911年下半年的辛亥革命，直接動搖了清政府的統治，到了1912年2月12日，清廷發佈退位詔書，2132年的封建帝制的歷史正式終結。但由於清末的亂象造成了全國政區的混亂：在北京政府直接控制的北方地區，較少受到辛亥革命的衝擊，保留了清代的省、府、縣三級制。而在南方地區，清代的行政機構隨著辛亥革命而自動瓦解，由軍政府掌管當地的軍政與民政，並且隨著民政機構的設立，南方各省大多數實行省縣兩級制，在省會和一些重要的地區還設有府，但府的行政層級與縣相等，原先擁有的對縣的管轄職能已被取消。
民國元年2月26日，章太炎在《大公報》上發表《條擬官制之要電》，向當選臨時大總統的袁世凱建議“廢省存道，廢府存縣，縣隸於道，道隸於部”。目的是想把清朝的地方三級制減為兩級，縮小行政區，劃分軍民二政，以加強中央集權。章太炎的這個建議，符合當時臨時大總統袁世凱削減南方各省都督權力的願望，得到了袁世凱的贊同。民國二年（1913）1月8日，袁世凱公佈了《劃一現行各省地方行政官廳組織令》、《劃一現行各道地方行政官廳組織令》、《劃一現行各縣地方行政官廳組織令》（簡稱《劃一令》）等法令，並通令全國:“按照政府計劃，以民國二年三月以前為限，一律辦齊。”這是我國近代首批全國性整理政區和行政機構的命令。
清代政區圖
其中《劃一現行各縣地方行政官廳組織令》規定縣的行政長官為縣知事，行政機關一律稱縣知事公署，“其現設巡道各省份所屬知事，除受監督於該省行政長官外，仍直接受該道長官之監督”。該令正式將清代直接管轄地方的府、直隸廳、直隸州，改置為縣；其餘各散州、散廳，均改稱縣，“其由有直轄地方之府，或直隸廳州，或廳州，改稱為縣者，各以原管地方為其管轄區域”
中華民國行政區劃
這三個《劃一令》的頒佈，構成了北京政府時期省、道、縣三級制的框架：保存清代的省、縣，廢除清代無直轄地的府，“本令施行後，凡各道所屬各府之無直隸地方者應即裁撤”;將道從清代以監察職能為主的機構，轉變為完全的行政機構，成為介於省、縣間的二級政區，實行省、道、縣三級制；將有直轄地的府、直隸州、直隸廳和州、廳均改置為縣。
雖然此時有道一級的行政機構，但由於當時各省的政權多由軍閥掌握，道的設立削弱了各地軍閥的權力，道並未真正起到行政區劃的作用，始終只是省縣之間的公文承轉機構。同時，各省設道過少，各道轄區過大，轄縣數量太多，也不具實際的區劃意義，還造成縣級官員晉升道尹困難極大。因此，省、道、縣三級制遭到較為激烈的反對。民國九年（1920年）至民國十八年（1929年），有些省份陸續撤銷道署機關，到民國十九年（1930年）2月，國民黨中央委員會第209次政治會議議決廢除道，至省，道作為一種行政區劃正式消亡。
最後，清朝時的省、府、縣三級行政管理體制到民國中後期就變成了省、縣兩級管理體制，一些明清時的府到了新中國成立之時就成為了普普通通的一個縣，最終甚至還不如其管轄之下的一個縣或者鎮。
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