01.20 打破西方封鎖!我國首臺紫外超分辨光刻裝備問世……


由於西方(美國)的刻意針對,許多的先進設備和技術,我們都無法進口,這給我國的發展帶來了不少的影響。不過就是在這樣艱難的情況下,我們也沒有選擇放棄,反而是更加努力的展開了奮鬥,往往西方限制什麼技術,我們就研發什麼技術,通過不懈的努力,我們就一步步打破了外國的封鎖,並取得了一系列亮眼的成績。

打破西方封鎖!我國首臺紫外超分辨光刻裝備問世……

據悉,在前不久我國就研發出了世界首臺分辨率最高的紫外超分辨光刻裝備,打破了西方在光刻機領域的壟斷地位。而這款超分辨光刻裝備,就是中國科學院光電技術研究所製造的,它的光刻分辨力達到了驚人的22納米,通過結合多重曝光技術後,可用於製造10納米級別的芯片。要知道,在我國研製出這款超分辨光刻裝備之前,世界上最先進的光刻機,就是由荷蘭阿斯麥公司(ASML)製造的。

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曾經,中國企業就向荷蘭阿斯麥公司提交了訂單,希望能購買該公司的EUV光刻機,本來雙方合同都簽好了,但是西方的“瓦森納安排機制”卻不同意,不準荷蘭阿斯麥公司將EUV光刻機賣給我們。而在發現外購這條路走不通後,我們便在研製國產紫外超分辨光刻裝備的事情上,下起了功夫。最終,我們就實現了彎道超車,研製出了自己的紫外超分辨光刻裝備。

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而且值得一提的是,由於我國研製的紫外超分辨光刻裝備,採用的是電磁波技術,因此還巧妙的繞過了知識產權,不用向外國提交相關費用,這讓西方都非常的鬱悶。據瞭解,在得知中國已經研製出了自己的紫外超分辨光刻裝備後,荷蘭阿斯麥公司就更加堅定了要將EUV光刻機賣給我們的決心,這下荷蘭急了,因為我國已經掌握了這項裝備,接下來荷蘭再不出售就掙不到錢,未來我們白菜價後恐怕失去更多市場,所以現在討好我們共同商量好售價賺大錢才是長久之計。荷蘭阿斯麥公司發言人便表示,即使在沒有許可證的情況下,他們也要將EUV光刻機賣給中國。


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