上海微電子光刻機在全球屬於什麼水平?

2019生旦淨末醜


首先說下世界上生產光刻機的幾個品牌

ASML

尼康

佳能

歐泰克

上海微電子裝備

SUSS

ABM, Inc.

大家最熟悉的莫過於ASML了,經常有新聞報道這家人數不多的公司,每個高端光刻機的流向,都會引起人們矚目,每一代高端cpu都離不開它的身影,而且有些型號還屬於禁運品,可想而知它的重要性了。

下面我們說說國內的上海微電,由於各國對高端光刻機的控制,我國也於02年開始開發研製,主要提供90nm及以下的製造能力,還是面對低端市場,能很大解決國外壟斷現象,提高我國芯片生產能力,主流的7nm生產工藝還主要在臺積電,三星(只是使用方,沒研發)手中,不過我們也是奮發圖強,每年二三百臺的出貨量,大大提高我國芯片的競爭能力,如果分上中下三個等級的話,我感覺上海微電屬於中等偏下水平,不過隨著我們科技強國戰略,這個等級還會隨時變動,希望能造出超一流的設備,打造中國自己的高端芯片




農夫差點甜


    如果說上海微電子的光刻機全球領先,大家都不會相信。荷蘭ASML最新的光刻機為7nm製程工藝,即將量產5nm,上海微電子最新的量產光刻機是90nm,正在研發65nm光刻機。也就是說,我國的光刻機與世界先進水平還有很大的差距。

    真正的差距在哪裡?

    上海微和荷蘭ASML光刻機的差距,客觀反映了我國和西方發達國家在精密製造領域的差距。一臺頂級光刻機的零部件,來自於西方不同的發達國家,美國的光柵和計量設備、德國的光學設備和超精密機械、瑞典的軸承、法國的閥件等等,最要命的是,這些頂級零件對我國是禁運的。


    荷蘭ASML的光刻機,90%的關鍵設備來自於不同的發達國家,自己並不生產關鍵零部件,而是做好精準控制和集成,將13個系統的3萬多個分件做好精準控制,誤差分散到這13個系統中。上海微電子同樣是一家系統集成商,自己並不生產關鍵零部件,所以在沒有頂級零部件、沒有突破關鍵技術的情況下,做不出7nm光刻機光刻機不是它的責任。

    有錢買不到?

    還有一個關鍵的問題,荷蘭ASML的7nm EUV光刻機,處於壟斷地位,全球只有ASML能夠生產,而且產量有限,即便有錢也很難買到,原因有兩點。


    原因一:ASML的合作模式

    ASML有一個獨特的合作模式,只有投資了ASML,才能獲得優先供貨權,也就是說ASML要求客戶先要投資它自己才行,通過這種合作模式,ASML從來不用擔心錢的問題,包括英特爾、三星、臺積電、海力士等都是ASML的股東,可以說大半個半導體行業都是ASML的合作伙伴。

    ASML的高端光刻機產量本來就不高,早早就被英特爾、臺積電等這些公司預定了。

    原因二:技術封鎖

    我國進口高技術設備時,無法繞開的一部法令是《瓦森納協定》,美國和歐盟等國家都是其成員國,這是一部全球性的法令,我國就在被禁名單之內。這個協定也不是完全禁售,而是禁售最新幾代的設備,比如2010年90nm以下的光刻機對我國禁售,2015年改成65nm。

    我國的晶圓廠中芯國際,早在2018年就從ASML成功預訂了一臺7nm EUV光刻機,先是因為ASML的合作伙伴失火,導致訂單延期,無法交貨,後是因為受到美國的牽制,荷蘭不予簽發許可證,所以,中芯國際至今仍然沒有收到,其中的原因大家可以想一想。


    總之,在光刻機領域,我國與世界先進水平還有巨大的差距,而且光刻機的研發不能實現跳躍,沒有突破65nm之前,是無法研發24nm的。同時,ASML向我國晶圓廠出售高端光刻機時,有保留條款,禁止給國內自主的CPU代工,比如給龍芯、申威等,但不影響給ARM芯片代工,很大程度上影響了自主技術和我國半導體產業的發展。

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Geek視界


這個問題非常好,提到光刻機,不能不說這是國人心中一個深深的痛。

中芯國際(SMIC)為了發展最先進的7納米芯片製造工藝,在2018年初,以1億多美元向荷蘭ASML訂購了一臺EUV紫外線光刻機。然而,近兩年過去了,ASML受到美國的各種施壓,遲遲不向中芯國際交付這一臺高端光刻機。而我們沒有絲毫辦法,這不能不說是店大欺客,欺人太甚。

上海微電子(SMEE)作為國產光刻機唯一的提供商,在目前本土高科技發展,尤其是芯片被美國窮盡手段阻斷的情況下,它的存在無疑成為國內芯片製造的唯一希望。

那麼上海微電子在光刻機領域的實力究竟如何呢?

其實這裡要先說明一下光刻機的分類,從用途上區分,其主要有四大類:製造芯片的前道光刻機,封裝芯片的後道光刻機,製造LED/MEMS/功率器件的光刻機,以及製造TFT液晶屏的光刻機。

而上海微電子對這四種光刻機都有涉足,尤其是封裝芯片的後道光刻機,其在國內具有80%的市場佔有率,在國際上也有近40%的佔有率,每年都有近60臺的出貨量。

其客戶都是世界前十大封測工廠,比如國內的長電科技JCET,通富微TF,以及臺灣的日月光半導體,這是非常了不起的成就。

上海微電子的研發實力也不容小覷,在光刻機領域的專利申請量有近3000項。在國內半導體設備廠商的綜合排名中,位居前五名。

但是在半導體制造中,最核心的其實屬於前道光刻機,其在半導體制造成本里佔30%之多,中芯國際向ASML購買的EUV極紫外線光刻機就屬於前道光刻機,可用於生產7納米工藝的芯片。

而上海微電子目前可以提供的最先進前道光刻機,只能用於生產280納米,110納米和90納米工藝的芯片。從這方面講,上海微電子與世界前三大光刻機生產商ASML,佳能Cannon和尼康Nikon的差距,是非常巨大的。

除了上海微電子之外,中科院和華中科技大學都有對光刻機的研發,但這都停留在實驗室的階段,很難進入商用。

比如中科院號稱開發出的“22納米光刻機”,採用表面等離子技術,不同於EUV極紫外光技術,具有很大的缺陷,無法生產CPU和顯卡GPU等電路非常複雜的芯片,這決定了,其無法進入商用領域。

華中科技大學國家光電中心甘棕松團隊,利用雙光束超衍射的技術,開發出的光刻機,目前僅能用於微納器件的三維製造,距離進行集成電路芯片製造,還有很多技術需要攻克,更別提進行成熟的商用芯片製造

由此我們可以看出,媒體上很多宣稱打破國際封鎖,開發出的幾納米光刻機,基本上距離商用都很遙遠,有的甚至基於不同目的還偷換概念。

這從另一個側面說明,上海微電子在國內光刻機領域,是唯一有希望進行更高端光刻機研發的企業,因此它的地位是無法替代的。

值得一提的是,從相關渠道瞭解到,上海微電子正在02專項的支持下,進行28納米前道光刻機的研發,已經取得了很大的進展。從90納米跨越到28納米,如果能實現,也是一個了不起的進步,期待上海微電子的28納米光刻機!


半導體國際資訊


從全球來看,處於最低檔的水平,離最強的ASML應該至少有10年以上的差距。

為何這麼說,目前上海微電子光刻機還是處於量產90nm的階段,目前還在研發65nm,而ASML目前最牛的光刻機可用於生產5nm的芯片,具體的各個級別的光刻機分類如下:

如上所示,如果分為四類,分別是超高端、高端、中端、低端的話,上海微電子處於最低端,而這個技術,ASML10年前就有了,所以說離ASML至少是10年的差距,這還要ASML停留在原地等才行。

那麼從90nm到5nm,從當前的芯片主工藝來看,至少可以分為65nm、40nm、28nm、20nm、16/14nm、10nm、7nm、5nm等。

而這些節點技術,有好幾個臺階要上,首先是45nm的臺階,再到22nm的臺階,再到10nm臺階,再到7nm的臺階,真的是一步一個坎,有些坎幾年都未必能夠更新出一代來。而這些節點,真的是一步一臺階,越到後面越難,所以這個差距真的是非常大的。

網上一直流傳著一句話,ASML曾說就算他公開圖紙,別人也生產不出和他一樣的光刻機來,因為光刻機的技術,很多是經驗積累,並且和芯片製造廠商的合作一起研發,並不是靠著元件就能夠解決的,而國內芯片製造技術本來就落後,這樣無法強強聯手,很難追上ASML。


互聯網亂侃秀


上海微電子光刻機在全球屬於什麼水平?上海微電子光刻機在國內是最先進的光刻機研發製造企業,其前道光刻機能夠實現90nm製程,在國內市場份額超過80%,並且也銷往國外。但與國際先機光刻機相比,上海微電子光刻機卻處於低端光刻機序列。

目前光刻機市場幾乎被荷蘭ASML、日本尼康和佳能、中國上海微電子設備集團四家所壟斷。而在這裡面,又分為三個檔次,荷蘭ASML壟斷了高端光刻機市場份額,日本尼康和佳能處於中端但同時競爭中低端市場,而上海微電子只有低端光刻機市場。其中ASML採用13.5nm的光源,可以實現7nm的製程,未來還將會實現更小nm的工藝。而上海微電子目前只能實現90nm工藝製程,差距不小。

上海微電子集團成立與2002年,成立之初當時國外公司曾經嘲諷:“

即使把圖紙和元器件全部給你們,你們也裝配不出來。”。然而上海微電子經過自力更生艱苦奮鬥,硬是打臉了國外公司的臉,在2007年研製出了我國首臺90nm製程的高端投影光刻機

不過由於樣機一出來因為採用了國外引進的高精度元器件,這時西方國家醜惡的嘴臉暴露了出來,擺出了《瓦森納協議》共同對我國實現高精度元器件禁運。以至於到目前即使研究出更好的光刻機,要大量生產也受到了國內產業鏈的限制。但

上海微電子硬是憑藉一口氣,還是又研製出了另外的光刻機出來,並逐漸在國內贏得了市場


現在國內已經意識到光刻機相當重要的作用,中芯國際已經花了將近1.5億美元引進ASML高端光刻機,但過去了兩年還未能交貨,因為國外有阻擾要得到這臺高端光刻機會經過不少波折,最後也不知道能不能成。國內相關的機構也在重點突破光刻機技術,比如中科院光電所已經研究出光刻分辨力達22nm的技術,結合雙重曝光技術可以實現10nm芯片的製造。

不過光刻技術攻克後,要實現光刻機量產還有不少的時間。特別是需要幾萬個零部件要達到高精準度的高端光刻機,其中的關鍵高精度零部件比如鏡頭、光源、軸承等,目前國內產業鏈還達不到,也需要聯合攻關才能取得,這需要花費不少的時間。就如中科院微電子所院士所說,在光刻機方面國內與國外先進相比相差15-20年的距離。即使是國內最先進的上海微電子,也還有相當長的路要走。


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東風高揚


一、目前的全球的光刻機公司有

ASML(荷蘭)

尼康(日本)

佳能(日本)

Diotec(德國)

SUSS(德國)

ABM(美國)

上海微電子裝備有限公司(中國)

二、上海微電子光刻機的代表,是上海微電子裝備有限公司。

三、下面是他的發展歷程

四、目前的主要生產中低端產品銷往國內外

在國際上,荷蘭公司ASML的光刻機技術處於領先,我國的光刻機技術還有很長的一段路要走。


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雖然說在光刻機領域中,上海微電子一直表現比較搶眼,但在市面上出售的光刻機,卻著實有些令人感覺到差異,90nm的光刻機和荷蘭ASML的7nm Euv的區別著實有點過大了。但是,這種“憋屈”,我們現在還得承受著,這是無奈之舉。

我們得打破《瓦森納協定》的束縛?

其實,我們知道,《瓦森納協定》是成了禁錮我們發展的一大不可忽視的緊箍咒,不僅僅以美國為主的國家,極力的阻止我們在半導體領域的發展,還通過技術管制,讓我們很難在技術中,得以進步。因為,最新的技術確實在美國等西方國家的技術鉗制中!

因此,如果打破不了《瓦森納協定》的束縛,我們在光刻機方面,還是會處於不小的壓力,這才是我們必須要知道的。

光刻機,需要多種技術的集合

什麼是光刻機?光刻機是我們在生產芯片中的重要部分,其實簡單的解釋是,將光罩上的設計好集成電路圖形通過光線的曝光印到光感材料上。因此,鏡頭、分辨率、套刻精度都非常重要。

我們經常說的nm是什麼意思呢?其實,就是光刻機在365納米光源波長下(深紫外光),單次曝光最高線寬分辨力達到多少納米。

我們知道,光刻機的曝光系統常見光源分為:紫外光(UV)、深紫外光(DUV)、極紫外光(EUV)等等,如今能夠在EUV中有所作為的,可能只有ASML了。其實,ASML的成功是集眾家之長,比如德國蔡司提供的鏡頭,美國公司供應的光源,也囊括了海力士、三星、英特爾等多家公司,因為它們是ASML的股東,這就是阿麥斯聰明之處,想優先獲得我的光刻機,就得成為我的股東。<strong>



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技術集合的困難,是我國光刻機發展的難點。其實,上海微電子的發展已經很不錯了,我覺得我們可能需要的是,換一種思路,打破國際慣例的技術限制,這就比如武漢光電國家研究中心的甘宗松團隊,成功研發利用二束激光,生產9nm工藝製程的光刻機一樣,未來的限制只會被打破。



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LeoGo科技


水平不高

但不空白

堅持研發

踏實前進

一步一步

後來居上

故,最終趕超一流

#凌遠長著#


愛之育之


上微的自力更生的精神要提倡的,中國需要上微精神。


玲玲80468293


對這個我不太懂,聽一些專家說可能不乍嘀,有差距慢慢追敢。別吹牛就行,


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