本報記者 李勇
17年努力做好一件事，瀋陽芯源微這份對主業的長期堅守也獲得了市場的認可。證監會網站11月18日晚間發佈消息稱，按法定程序同意瀋陽芯源微電子設備股份有限公司科創板首次公開發行股票註冊，這也意味著瀋陽芯源微科創板上市邁過了最為關鍵的一步，只待最後的發行程序。
作為國內主要的半導體設備廠商之一，瀋陽芯源微自成立以來，專心做好一件事，深耕塗膠顯影設備和單片式溼法設備領域，目前公司生產的塗膠顯影設備已成功打破國外壟斷並填補國內空白，是國產塗膠顯影設備領域的先行者。
公開披露的資料顯示，瀋陽芯源微主要從事半導體專用設備的研發、生產和銷售，產品包括光刻工序塗膠顯影設備（塗膠/顯影機、噴膠機）和單片式溼法設備（清洗機、去膠機、溼法刻蝕機），可用於6英寸及以下單晶圓處理及8/12英寸單晶圓處理。公司生產的塗膠顯影設備產品，在LED芯片製造及集成電路製造後道先進封裝等環節，作為國內廠商主流機型已成功實現進口替代；在集成電路製造前道晶圓加工環節，公司成功突破了前道塗膠顯影設備關鍵技術，並於2018年下半年分別發往上海華力、長江存儲進行工藝驗證，其中，上海華力機臺已於2019年9月通過工藝驗證並確認收入，長江存儲機臺目前也仍在驗證中。
記者瞭解到，光刻工序塗膠顯影設備系集成電路製造過程中不可或缺的關鍵處理設備，主要與光刻機配合進行作業，通過機械手使晶圓在各系統間傳輸和處理，從而完成晶圓的光刻膠塗覆、固化、顯影、堅膜等工藝過程。作為光刻機的輸入和輸出，塗膠/顯影機的性能不僅直接影響到細微曝光圖案的形成，其顯影工藝的圖形質量和缺陷控制對後續諸多工藝中圖形轉移的結果也有著深刻的影響。
“半導體設備市場是一個高度國際化、規範化和成熟化的市場，瀋陽芯源微作為後起之秀，產品獲得市場的認可，並不容易。”有業內人士在接受《證券日報》記者採訪時表示，“要想打破國外對技術的壟斷，就要靠這些企業對主業長期堅守，要靠骨子裡不屈的創新精神，要靠過硬的拳頭產品。”
數據顯示，雖然瀋陽芯源微僅有253名員工，但截至2019年6月30日，公司已獲得專利授權159項，其中發明專利134項，擁有軟件著作權37項；是貨真價實專利“大戶”。
此次公司擬發行股票數量不超過2100萬股，所募集資金將用於高端晶圓處理設備產業化項目和高端晶圓處理設備研發中心項目。瀋陽芯源微在披露的公開材料中表示，前道芯片生產線的不斷擴張和半導體設備國產化的大趨勢，為國產半導體設備企業發展創造了歷史性的機遇。通過本次發行，公司將能夠解決研發投入的燃眉之急，進一步提升自身在半導體設備領域的技術積累。
作為國家工信部認定的首批“專精特新”小巨人企業之一，瀋陽芯源微此次通關科創板，也將助力企業繼續在改善經營管理、提升產品質量、實現創新發展方面發揮示範帶動作用，以更優質的產品助力“中國芯”跨越式發展！
閱讀更多 證券日報 的文章
