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核心觀點:
在長江存儲截至目前可查的設備採購清單中,國內設備廠商在刻蝕機、物理氣相沉積設備(PVD)、等離子體增強化學氣相 沉積(PECVD)、立式爐設備、清洗機設備、幹法去膠設備、化學機械拋光設備等主要領域都實現了突破,代表性的企業包 括刻蝕設備龍頭A公司、北方華創、盛美半導體、Mattson、瀋陽拓荊、華海清科等;
單個領域實現突破的設備廠商有:
刻蝕設備龍頭A公司的CCP刻蝕設備、盛美半導體的單片式清洗設備、華海清科的化學機械拋光設備和瀋陽拓荊的PECVD設 備;
多個領域實現突破的設備廠商有:
北方華創的立式爐設備、PVD設備、ICP刻蝕設備、槽式清洗設備; Mattson的CCP刻蝕設備和幹法去膠設備;
尚未實現突破的領域包括光刻設備、塗膠顯影設備、ALD設備、離子注入設備、過程控制設備、晶囿測試機、探針臺等;
我們假設,目前已經採購的設備對應的是20k/月的產能,且未來隨著長江存儲未來的擴產,設備的需求量線性的增加,國內 廠商可以覆蓋的工序會逐漸增多,細分領域的設備佔比預期會進一步提升;
經我們詳細測算,預測訂單提升較多的主要包括:刻蝕設備龍頭A公司、北方華創、盛美半導體、Mattson;
重點關注:刻蝕設備龍頭A公司、北方華創、盛美半導體、Mattson;
建議關注: 瀋陽拓荊、華海清科、睿勵科學。
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報告內容:
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