等離子清洗機也叫等離子表面處理儀，是一種全新的高科技技術，利用等離子體來達到常規清洗方法無法達到的效果。等離子體是物質的一種狀態，也叫做物質的第四態。
等離子清洗機
對氣體施加足夠的能量使之離化便成為等離子狀態。等離子體的活性組分包括：離子、電子、活性基團、激發態的核素、光子等。等離子清洗機就是通過利用這些活性組分的性質來處理樣品表面，從而實現清潔等目的。 下面一起來看看等離子清洗機的相關知識介紹。
等離子清洗機產生等離子體的裝置是在密封容器中設置兩個電極形成電場，用真空泵實現一定的真空度，隨著氣體愈來愈稀薄，分子間距及分子或離子的自由運動距離也愈來愈長，受電場作用，它們發生碰撞而形成等離子體。
這些等離子體的活性很高，其能量足以破壞幾乎所有的化學鍵，在任何暴露的表面引起化學反應，不同氣體的等離子體具有不同的化學性能，如氧氣的等離子體具有很高的氧化性，能氧化光刻膠反應生成氣體，從而達到清洗的效果;腐蝕性氣體的等離子體具有很好的各向異性，這樣就能滿足刻蝕的需要。利用等離子處理時會發出輝光，故稱之為輝光放電處理。
等離子體
由於等離子清洗機所釋放出的這種等離子體屬於氣態的性質，所以對物體表面的粗糙程度、彎曲、空隙等各種形狀都能起到很到的清洗作用且不會損害被處理面。正是因為這些優勢，等離子清洗機的使用也是越來越廣泛。
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