我國上海微電子裝備有限公司是專門研發和生產光刻機設備的科技公司。光核機技術水準在90納米。
無錫影速半導體科技有限公司，是由中科院微電子研究所聯合業內資深技術團隊成立的微電子高科技公司，生產亞微米半導體制版光刻設備等，技術水準在200納米。
合肥芯碩半導體有限公司，這家成立比較早，2006，是承擔國家兩項02專項任務民營高科技公司，主要生產半導體光刻設備。水準200納米內。
京先騰科技有限公司，發起人杜成群。杜成群博士先在清華任教，後留學荷蘭，在荷蘭ASM公司從事光刻研究，擁有60多項光刻技術專利。2010回國為國內芯片出力。水準在800納米。
還有許多公司都在研發光刻設備。有共同特點都是起步較晚，要趕上國際水準，還需付出更多努力。需要更多人才投入。
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