3納米芯片來襲?細數製程工藝不斷變小的芯片史

幾十年來,半導體行業進步的背後存在著一條金科玉律,即摩爾定律。摩爾定律表明:每隔18-24個月,集成電路上可容納的元器件數目便會增加一倍,芯片的性能也會隨之翻一番。然而,在摩爾定律放緩甚至失效的今天,全球幾大半導體公司依舊在拼命“廝殺”,希望率先拿下製造工藝佈局的制高點。英特爾終於進入10nm工藝時代並將在後年轉入7nm,臺積電、三星則紛紛完成了7nm工藝的佈局並奔向5nm、3nm。

3納米芯片來襲?細數製程工藝不斷變小的芯片史

3nm芯片製程到底有什麼難的

兩個最大的障礙是光刻機技術的發展和晶體管的結構。通俗地解釋一下,光刻機的作用,類似於膠片相機,就是將已經設計好的電路圖,通過激光投影“刻”到硅晶圓上。

所謂的製程,就是指硅晶圓上微型電路之間的距離。當然這個數字越小,就意味著單位面積上可以容納更多的元器件,隨之提升的就是芯片的算力,與電信號的傳播效率。使用低製程芯片的手機,直觀上的感受起來更加輕薄、不卡頓、也更省電。

而在現有光刻機技術達到極限後,如何縮小晶體管的體積,就成為了決定芯片進步的最關鍵因素。

但由於受到很多複雜因素的影響(比如遷移率、漏電流等),晶體管的微型化並不是簡單做小點就能解決的,相應地,它需要晶體管結構設計上的調整。

起初,晶體管是以平面的順序排列,然而這種方式註定無法最大限度利用空間,當晶體管的尺寸縮小到25nm以下時,這種傳統的平面場效應管(PlanarFET)的尺寸就已達到其物理極限。

隨後,一種叫做FinFET的晶體管結構誕生了,在此前的很長一段時間內,它都是半導體界的主流解決方案,成為了驅動芯片產業發展的最大動力。

FinFET的主要思想就是將晶體管的排列立體化,通過在垂直方向的縮放來增加晶體管的溝到和柵極之間的接觸面積,從而得到更快的切換時間與電流密度。

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然而,和PlanarFET 一樣,FinFET也並非終極解決方案,當芯片製程來到3nm時,它就顯得心有餘而力不足了,芯片核心晶體管又面臨著重新的設計和改造。

這個方案就是三星即將用到的GAA結構,即多閘極晶體管。不過,三星也在GAA的基礎上做了改良,把晶體管通道從原來的小圓柱體,換成了更寬的納米片,納米片越寬,芯片的性能也越高,但隨之而來的功耗也越大。

按照三星的設想,相較於7nm,採用3nm製程後,芯片性能將提高35%,功耗降低了50%,芯片面積縮小45%。

3nm受到重視,2nm任重道遠,1nm遙遙無期

業界希望從3nm開始,從當今的finFET晶體管過渡到全能門FET。在2nm甚至更高的製程下,業界正在研究當前和新版本的全能門晶體管。

2nm節點及更高節點的工作進展順利,但挑戰眾多,不確定性也越來越高。

3nm和2nm技術已經定於2022年和2024年推出,而1nm及更先進製程工藝仍在研發中,離商用依舊遙遠。

為什麼從5nm到3nm,以及再往後難度陡增?這裡我們要簡單回顧一下製程的知識。

以10nm製程為例,是指在芯片中線最小可以做到14nm的尺寸。下圖為傳統晶體管的結構,為了減少能耗,我們要想辦法縮小晶體管尺寸。

3納米芯片來襲?細數製程工藝不斷變小的芯片史

晶體管的工作原理,通電1斷電0,就能實現計算機的運算。Gate端施加電壓,電流就會從Drain端到Source端。

縮減元器件之間的距離之後,晶體管之間的電容也會更低,電容低了就能頻繁開關而且能耗會變小,芯片才可以在速度更快的同時,做到更加省電,而且縮短距離後,相同的面積上可以放置更多的晶體管。所以芯片廠都在儘可能的降低芯片製程。

原子的大小大約為0.1nm,10nm工藝就要保證一條線只有不到100個原子,一個原子出問題,整個產品就報廢了,產品的良率會打折扣。

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