XY中空式大行程直線壓電掃描臺

P17系列壓電掃描臺是專門為需要大通光孔徑、大位移行程的應用而研發設計的二維掃描臺。臺體採用機構放大設計原理，內置高可靠性壓電陶瓷，可以實現XY軸187.5μm的掃描範圍，通光孔為60×60mm，在樣品精密定位、掃描顯微、干涉等領域得到了廣泛的應用。

特點

• XY二維運動，位移可達187.5μm

• 承載能力1kg

• 通孔尺寸：60×60mm

• 分辨率可達5nm

• 可選配閉環傳感器

典型應用

• 圖像處理與穩定

• 掃描顯微

• 干涉/計量

• 表面檢測

• 晶圓定位

• 微操作

頻率負載曲線

穩定性好 響應速度快

P17系列壓電掃描臺為壓電陶瓷驅動快速、高精度掃描臺，可以實現XY軸187.5×187.5μm的位移行程，優異的結構設計無摩擦、導向精度高、響應速度快、最快的響應時間可達5毫秒。閉環版本採用高精度的傳感反饋，與E00/E01系列閉環控制器配套使用，具有非常高的穩定性。臺體中心60×60mm大通孔，適合工業自動化中的晶圓定位或微操作等應用。

階躍時間

P17.XY200S負載10g達滿行程的響應時間約30ms。

應用實例

P17系列壓電掃描臺適用於需要大行程高精度的應用，該產品已經成功應用於半導體測試、表面結構分析、顯微成像等領域。與芯明天壓電物鏡定位器配套用於晶圓定位，可帶動晶圓做XY軸187.5μm行程範圍的納米級精密定位。