前几天，中芯国际入库了ASML的DUV光刻机，遗憾的是中芯国际订购的EUV光刻机因美国的干预而暂停供应，而EUV光刻机是实现7nm及以下制程技术的必需设备，现有的DUV光刻机最低只能到7nm。因此EUV光刻机就成了中芯国际实现核心技术突破的关键设备。而能够提供EUV光刻机的厂家目前全球只有ASML，只此一家别无分号。因此ASML对中芯国际断货EUV光刻机，也表示在7nm以下制程上中芯国际的路被堵死了。
幸运的是目前7nm制程以上的芯片还是主流，因此在短期内中芯国际还没有太大的担忧。但是随着EUV光刻机的陆续出货，三星、台积电逐步向EUV转移，中芯国际面临的压力是巨大的。突围之路是否有呢？国产光刻机能否顶上？目前看国产光刻机在5年内突破的概率几乎为0，因此指望国产光刻机是不太现实的。还有一个可能就是ASML恢复给中芯国际供货EUV光刻机，目前看ASML不给中芯国际供货是暂时的，是受美国压力所致，从自身的意愿上看ASML是希望给中芯国际供货的，因为毕竟是能带来利润的。EUV光刻机的利润是很可观的。当然笔者也希望ASML能恢复给中芯国际供货，同时也希望国产的光刻机能迎头赶上，打破西方的技术垄断。
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