東方鉭業:公司參加300mm硅片用(4N5)Ta靶材項目

同花順(300033)金融研究中心5月20日訊,有投資者向東方鉭業(000962)提問, 董秘您好,查看公司年報公司產品已通過中芯國際用戶認證和使用,並應用於極大規模集成電路製造工藝。公司參與的國家支撐計劃項目“鉭的增值化利用技術開發”已順利通過驗收,研發出300mm硅片用Ta靶材。請問是否屬實?

公司回答表示,2015年半年度報告中“自治區成果轉化項目“高性能鉭靶材產業化建設”順利通過驗收,研發出300mm硅片用(4N5)Ta靶材,靶材膜厚及均勻性、電阻率、晶粒數、電子遷移和應力遷移的可靠性等均滿足芯片配線要求,並通過了相關半導體濺射測試。產品通過了中芯國際等用戶認證和使用,成功應用於極大規模集成電路製造工藝。”公司只是參加這個項目的公司之一,提供原料。


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