集微網報道（記者 張軼群）近日，中微半導體設備（上海）有限公司（以下簡稱“中微半導體”）與維易科精密儀器國際貿易（上海）有限公司（以下簡稱“Veeco上海”）的訴訟爭端又有了最新進展，福建省高級人民法院同意了中微針對Veeco上海的禁令申請，這也是繼國家知識產權局專利複審委員會（以下簡稱“專利複審委”）後，中方再次認定Veeco上海侵犯了中微半導體的知識產權。
巨頭相爭的背後，圍繞在半導體設備製造領域的博弈正在進行新一輪角力。
石墨盤引發的紛爭
今年4月，Veeco美國在紐約東區的聯邦法院對中微半導體MOCVD設備的晶圓承載器（即石墨盤）供應商SGL展開了專利侵權訴訟，認為在SGL為中微半導體設計的石墨盤產品侵犯了其專利，要求禁止SGL向中微半導體供貨，紐約法院於11月初發布臨時禁運令。
在Veeco美國方面發起針對SGL的訴訟後，中微半導體方面迅速做出回應。今年7月，中微半導體向福建高院正式起訴 “Veeco上海”，指控其TurboDisk EPIK 700型號的MOCVD設備侵犯了中微的晶圓承載器同步鎖定的中國專利，要求其停止侵權並主張上億元侵權損害賠償。12月初，福建高院同意中微半導體針對Veeco上海的禁令申請，該禁令禁止Veeco上海進口、製造、向任何第三方銷售或許諾銷售侵犯中微專利的石墨盤產品。
在這一過程中，今年7月中微提起訴訟後，Veeco上海還向專利複審委提交專利無效宣告請求，主張中微半導體專利無效。專利複審委於2017年11月24日駁回了Veeco提出的無效宣告請求，確認中微半導體專利有效。
實際上，中微半導體與美國Veeco公司的專利糾紛集中在MOCVD設備上，作為LED芯片生產過程中的關鍵設備，MOCVD的核心技術長期被歐美企業所壟斷，美國Veeco、德國Aixtron是這個領域中的兩個巨人。
中國作為全球LED芯片的最大製造基地，近年來得益於產業政策、市場環境以及企業自身的不懈努力，中國企業在LED設備製造領域異軍突起，湧現出中微半導體、中晟光電等代表性公司，不斷搶佔歐美巨頭在全球的市場份額。
自去年下半年以來，中國LED芯片企業掀起了新一輪擴產潮。據集微網記者瞭解，華燦光電通過在義烏的擴產，今年底產能將達到510萬片/年。（摺合四英寸）。三安光電正在廈門擴產，2017年底將達到750萬片/年。(摺合四英寸)，三安光電近期也宣佈了在泉州的鉅額投資計劃，產能將繼續擴張。而二者皆為中微半導體的重要客戶。
目前，中微半導體銷售維持在年均30-35%的增長率，預期2017年今年將實現突破性增長，達到80%年增長率，銷售預計將達11億元人民幣，2017年中微半導體的MOCVD出貨量已突破100臺，而到2017年底，中國大陸的MOCVD累積安裝量佔全球總量的比例將超過50%。而從目前國內前三大 LED 芯片廠商今年採購情況看，Veeco 和中微的MOCVD設備各佔一半。
中微半導體的迅速做大，讓Veeco等老牌玩家著實感到不安。
在工信部賽迪研究院集成電路研究所朱邵歆博士看來，Veeco此舉的主要目的正是通過干擾MOCVD設備零件供應鏈來打擊競爭對手中微半導體。看來，Veeco此舉的主要目的正是通過干擾MOCVD設備零件供應鏈來打擊競爭對手中微半導體。
“近年來，中微半導體迅速成長，技術日趨成熟，特別在中國市場的話語權進一步鞏固。三安光電、華燦光電在下一步的擴產規劃中，都大幅採用了中微半導體的設備，Veeco明顯感受到了壓力。”朱邵歆告訴集微網記者。
中微半導體的反擊
在相繼獲得了專利複審委的認定，以及福建高院的裁定之後，中微在中國取得了兩場對Veeco上海的勝利。此外，中微半導體於美國當地時間2017年12月8日向美國專利商標局（USPTO）專利審判和上訴委員會（PTAB）遞交無效Veeco美國專利（US 6,726,769）的請求。
選擇在福建提起訴訟，因為福建市場產能較大，也是企業採購中微半導體設備的主要區域，便於法院進行取證，同時在美國向Veeco發起訴訟，中微的反擊有理有力，這也反映出經過多年在專利戰場上的較量，中微半導體更加熟稔流程，中國高科技企業在應對專利訴訟方面的愈發自信與從容。
朱邵歆告訴記者，知識產權工作是一項費時費力費資本的工作，而中微半導體這些年一直在做積累，這也為其成為國際一流的半導體設備生產廠商奠定了基礎。
自2004年成立以來，中微半導體一向獨立自主研發創新技術，通過十餘年的發展和積累，如今中微半導體在全球共申請了超過800件相關專利，其中絕大部分是發明專利，涉及MOCVD的專利已超過百項，大部分專利已獲授權。
到目前為止，中微半導體還沒有輸過一場專利訴訟官司，已成為業內知識產權保護的典範。在重視科技創新、專利保護方面中微半導體做出了表率，改變了中國的高科技公司在知識產權方面相對被動的局面，這也得益於多年來中微半導體在重視自主創新和科技研發等方面的堅持。
由於晶圓承載器對材料和工藝要求非常高，包括中微半導體、中晟光電等國內半導體設備廠商，所使用的石墨盤絕大部分來自國外供應商。作為耗材，機臺上的石墨盤兩三個月即需更換一次，未來如無供應，將導致機臺停產，產能受損。這也使得中微半導體等企業要儘快採取措施，減少因專利訴訟糾紛而帶來的商業影響。
談及此次事，企業一側表現得相當謹慎，包括華燦光電在內的多家企業以話題較為敏感為由婉拒了集微網記者的採訪。但從目前情況來看，短期內並不會給LED行業帶來大的波動。
此前公佈的11月22日華燦光電與中微半導體召開的電話會議內容顯示，中微半導體表示正在積極發展第二和第三渠道的供應商，預計12月底即可完成產品驗證，明年1-2月即可解決批量問題，春節前可恢復對客戶的石墨盤供應。
而華燦光電也表示，公司在積極推動該事件的解決，現有石墨盤庫存充足，可用到明年3月，短時間內該事件並不會對公司有任何本質上的影響。
此外，華燦光電認為，該事件也不會對芯片價格產生大的影響，整體來看，芯片價格將是穩中有降的，但龍頭公司的高端產品具有更好的成本競爭力。
如何回到談判桌前
如今，在很多高科技行業領域，先行成功的巨頭們往往不願輕易交出手中的權杖，反而經常高舉起專利、知識產權的“大棒”對新入局者予以恫嚇。
特別是歐美巨頭企業，往往在知識產權問題上“找茬”。此前愛立信對於小米進行專利訴訟，以及美國的“337調查”更是在國家層面提高了准入門檻。
此次紛爭對於Veeco而言，或許不僅是想迫使中微半導體繳納專利費用，更可能的是期望在更大範圍內與中微半導體展開合作，覬覦的還是龐大的中國市場。12月5日，聚燦光電發佈公告稱，公司與Veeco上海簽署了兩份重大MOVCD設備採購合同，總金額高達到6972萬美元。
儘管中微半導體在最近的聲明中，強勢表態要讓Veeco付出巨大代價，但從行業的視角看，兩相博弈的結果還是雙方和解的概率較大，但這一過程需要多長時間，取決於雙方的態度。
高科技企業間的知識產權糾紛往往取證繁瑣，還涉及跨國訴訟，是一場不折不扣的持久戰，其實多以專利換專利、市場換市場等“和解”的方式收尾，對此雙方也心知肚明。
至少從中微半導體方面，率先表示出了相關意願，如中微董事長兼首席執行官尹志堯在聲明中便表示：“我們更願意集中精力在創新產品的研發和為客戶提供優質服務上，而不是浪費時間和資源在法律訴訟上。因此，我們完全願意和Veeco達成有利於雙方的解決方案並努力實現這一目標。”
在芯謀研究首席分析師顧文軍看來，如果此次雙方最終沒有得到一個和解意願，那將對中國半導體和高科技產業產生連鎖的負面影響。
“出於競爭或專利等原因，以往國際公司都是直接告國內公司，但現在因為很多國際企業考慮到在中國的最大利益，不便直接去告中國公司，現在轉而去告中國公司的一些核心設備供應商。而此次極有政治傾向地對美國供應廠商實行禁運也十分罕見，開了一個極不好的先例。對中國的半導體和高科技產業或許有致命影響。”
顧文軍對福建高院以及專利複審委的裁定表示支持，他同時也表示，如何儘快回到談判桌前是雙方需要儘快解決的問題。
“官司打來打去互相傷害都不會受益，坐下來談判談檢查授權才是正道。”顧文軍說。
結語：全球市場格局下的競爭範本
中微半導體與Veeco之爭，實則為兩大LED半導體設備製造企業在爭奪市場過程中的摩擦和博弈。
目前看中微半導體一面在通過專利訴訟不斷向Veeco施壓，另一方面也在積極調整供應鏈佈局（如引進第二、第三供應商）予以應對。問題在於，對於第二第三供應商，Veeco並不排除採用同樣的手段來進行反制約，而同樣在中國市場，中微半導體同樣可以利用知識產權來對Veeco進行限制。
如此拉鋸，雙方將會越走越遠，這顯然是雙方都不想看到的。基於此，雙方回到談判桌前的概率較大，而前提則是如何達成有利於雙方的解決方案。
手機中國聯盟秘書長王豔輝認為，中微Veeco之爭看似是中美企業之爭，實則中國新勢力崛起後與歐美傳統豪強之間依據市場競爭原則勢力範圍的再劃分，中微半導體與Veeco專利戰不分伯仲，是未來立足並擴大市場的根本，中國企業參與全球競爭最終依靠的還是核心技術和公平市場競爭環境。
從這一事件可以看到，中國高科技企業在面對市場競爭對手，特別是行業巨頭提出訴訟時，正由過去的妥協、讓步到據理力爭，有策略的進退，中國高科技企業在應對知識產權訴訟方面的能力正在增強。
中微半導體一直以來堅持自主創新，重視研發投入的前瞻之舉，正逐漸為其在未來的市場競爭中贏得話語權，打鐵還需自身硬，練好內功才是根本，中微半導體與Veeco的博弈，為中國高科技企業更廣泛地參與國際競爭提供了很好的範本。
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