10.02 半導體機臺效率分析圖

半導體機臺利用率如何提高,在半導體封裝中,因wafer的翹曲度等,8in一直是12/13 pcs per batch.但在12in中,slot pich達到了10mm,所以可以直接25pcs/batch,和芯片fab廠一致。那效率提高了多少呢?我們利用採集的數據進行分析。

以外觀檢測機臺AOI為列:

library(dplyr)

library(sqldf)

library(ggplot2)

library(grid) # 一頁多圖包

library(plotly) # 動態表格

library(ggthemes) #配色主題包

library(RColorBrewer) # R的配色主題包

# 從EDA平臺中找到需要的data,使用sqldf函數,

AOI

再梳理下哪些機臺25pcs跑貨了,使用dplyr包中的filter函數

AOI_25

進行不同的數據查看

unique(AOI_25$machineId)

進行ggplot畫圖:

aoi_oee

theme_economist()+scale_fill_economist()+ #使用ggthemes包中的華爾街商業模板

theme(axis.title.x=element_blank(),axis.title.y=element_blank())+ #去除x/y的標題

labs(title="AOI OEE Per Month:unit(%)")+ # 加標題

geom_text(aes(label=Utilization),position=position_stack(vjust=0.85)) #加柱子圖的標籤,調整字的高度

# 機臺過站信息查詢:

使用sqldf函數,查找AOI-09/10/11/12(之前分析過,該機臺跑過25pcs))

AutoTrack_AOImachineId=='AOI-12'")

aoi

geom_point()+

theme_economist()+

scale_fill_economist()+

labs(y="wf-pcs",title="AOI每bath跑貨的wafer數量")+

theme(axis.title.x=element_blank())

需要將2張圖放置在一個頁面,需要加裝grid包:

grid.newpage() #創建頁面

pushViewport(viewport(layout=grid.layout(2,1))) #將頁面分成2行

vplayout

print(aoi_oee,vp=vplayout(1,1))

print(aoi,vp=vplayout(2,1))

得到圖如下:

半導體機臺效率分析圖

OEE效率圖

從圖上可以看到,機臺使用25pcs跑的,機臺效率整體提高很多,機臺利用率變高了。


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