「歷史」浙江“芯”潮湧︱造芯記

今天談談浙江省。浙江省簡稱“浙”,是吳越文化的發源地,位於中國東南沿海,是中國經濟最活躍的省份之一,形成了具有鮮明特色的“浙江經濟”,2018年GDP排名全國第四。

浙江省的造芯史可以追溯到1980年代,從當時國營871廠在浙江紹興建立集成電路分廠開始,播灑下浙江省集成電路發展的火種。40年來,浙江的集成電路產業形成以杭州、寧波為引領,紹興、嘉興、衢州、金華等地特色發展的“兩極多點”格局。2018年浙江省集成電路產業規模超過500億元。

為深入貫徹落實《國家集成電路產業發展推進綱要》,2017年12月浙江省政府出臺了《關於加快集成電路產業發展的實施意見》,在《實施意見》中提出積極發展集成電路設計業,做強特色工藝集成電路製造產業,做精特色集成電路工藝材料產業,做大集成電路製造業和封裝測試,並發展配套相關產業,預計到2020 年,全省集成電路相關產業突破10001000億元目標。並特別提出“實施集成電路製造躍升工程”,支持有條件的地方規劃佈局和建設8英寸和12英寸生產線,融入國家集成電路製造產業發展佈局,引進16/14 納米以下產線,力爭到2020年實現12英寸先進集成電路生產線零的突破。

下面讓我們一起去探究浙江省的造芯歷程。

一、華越“芯”火種

“華越”坐落於中華的古越大地,承載了老一輩半導體人的心血;38 年的產業歷程,為浙江乃至全國的集成電路產業培養了大批人才,比如杭州士蘭微、芯谷科技、芯裝科技、宏邦電子等公司的創始團隊都在華越工作過,他們至今仍奮鬥在祖國集成電路產業前線。

改革開放後,國營871廠為謀求更大發展,在1980年東進浙江,投資200萬元引進3英寸集成電路關鍵生產設備,在紹興建立集成電路分廠,生產線於1984年開始投產LSTTL電路,從此點燃了浙江省集成電路製造業的火種。為了企業的做大做強,經過改制,1992年更名紹興華越微電子有限公司,同時生產線經過多次改造、擴建,於1998年建設完成5英寸生產線,生產能力進一步提升。

1980至1990年代,華越和無錫華晶都屬於我國的明星企業,紹興人以進入華越廠工作為榮。

在2000年後,華越計劃發展8英寸晶圓製造線,但由於當年紹興強調“紡織立市”,晶圓製造這種高投入、高風險的項目沒有受到重視,導致華越錯失了發展的良機,

加上技術人員外流嚴重,華越開始走下坡路了。但瘦死的駱駝比馬大,儘管是5英寸產線,華越的雙極、鋁柵CMOS、VDMOS、SBD、FRD、CRD等工藝對紹興當地的集成電路設計公司的發展支撐明顯。

令人扼腕的是,2018年5月25日,華越突然宣佈關停生產線,讓中國半導體業界為之震驚。回首當年華越的輝煌時代,不忍令人唏噓。

二、士蘭“芯”火傳

2017年3月,士蘭微旗下士蘭集昕8英寸生產線產出第一片合格芯片,標誌著士蘭微邁入新的發展里程碑。這是浙江省第一條8英寸正式投產的晶圓製造線,也是我國第一條由民營企業投資建設的8英寸晶圓製造線。

士蘭集昕8英寸生產線定位於高壓集成電路特色工藝、高壓高功率半導體功率器件芯片和MEMS傳感器的研發和生產;規劃月產能40000片。2017年6月正式投入量產,目前基本實現滿載。為了實現規模生產,已經開始8 英寸二期建設。

作為國內領先的自主綜合性半導體廠商,士蘭微成立於1997年,從集成電路芯片設計業務開始,逐步搭建了特色工藝的芯片製造平臺並延伸至功率模塊和MEMS傳感器的封裝領域,建立了較為完善的IDM經營模式。

士蘭微公司創始人“士蘭七君子”陳向東、範偉宏、鄭少波、江忠永、羅華兵、宋衛權、陳國華都來自華越微電子,有著長期從事集成電路設計和製造的從業經驗,都深知特色工藝產品設計和製造銜接的重要性。為了解決委外生產的不確定性危險,公司決定快速進入晶圓製造領域,於2001年投資成立士蘭集成,從事晶圓製造業務,公司首條6英寸晶圓製造線於2002年完成建設並順利投產,這也是浙江省歷史上的首條6英寸生產線,也是我國第一條由民營企業投資建設的6英寸晶圓製造線。

三、湖州“芯”茫然

進入2000後,隨著18號文件的發佈,極大的刺激了我國集成電路產業的發展。湖州也試圖藉助集成電路項目進行產業結構升級。於是,元泰晶圓製造項目進入了湖州的視線。

2002年,江南古城湖州南潯有關部門對外發布信息稱,浙江省最大的集成電路製造項目元泰集團正式落戶南潯經濟開發區。元泰集團於2002年6月在湖州設立浙江元泰集成電路製造有限公司,計劃在湖州投資建設集成電路晶圓製造項目,一期投資1.2億美元建設月產能5萬片6英寸0.35微米晶圓廠,二期投資3億美元建設8英寸0.25微米晶圓廠,投產後,80%出口。

湖州方面為了促成這個最大的集成電路項目,在南潯經濟開發區免費提供2000畝土地,提供1:1貼息貸款,且由當地財政支付貸款70%的利息。為引進元泰項目,當地還投資2個多億元建設了佔地25萬平方米的熱電廠;投資1個多億元建變電所。

湖州方面在2003年發現,“熱戀”中的女朋友元泰集團突然“飛”到了上海嘉定。2003年1月茂基半導體制造(上海)有限公司第一次走入公眾視野,其公佈的投資計劃同在浙江湖州一樣,總投資額為4.2億美元;採用6英寸0.35英寸製程技術,並將在合適的時候導入8英寸生產線;茂基是上海市嘉定區引進的第一條半導體生產線。

都說女人心海底針。2004年2月,英泰半導體制造(鄭州)有限公司成立,英泰為河南半導體業的發展描繪了一個誘人的畫面:投資2.29億美元建設6英寸0.35微米的晶圓廠,月產能5萬片,80%出口。

這三個項目可謂是異曲同工,從浙江到上海再到河南,其背後都是同個馬來西亞籍華人。

隨著元泰項目的離去,湖州的造芯夢也一去不返。

四、

寧波“芯”緣續

寧波的造芯史可以追溯到2002年。進入2000年後,隨著18號文件的發佈,極大的刺激了我國集成電路產業的發展。寧波也試圖藉助集成電路項目進行產業結構升級。

當時寧波有三個晶圓製造項目啟動,一個是明華微電子5英寸項目,一個是中緯積體的6英寸項目,一個是中寧微電子的8英寸項目。

明華微電子5英寸項目起源於4英寸項目,2003年初決定與美國IMP公司進行合作,並將4英寸產線改為建設5英寸產線,於2004年順利投產,原為IDM企業,主要有模擬高壓CMOS和BiCMOS工藝,後轉為代工公司。並於2016年將設備和知識產權出售給中芯寧波。

中緯積體6英寸項目是由臺灣人蔡南雄和馮明憲籌建,收購臺積電一廠的6英寸設備。2004年投產後不久就陷入產能爬坡、良率等諸多問題中,導致現金流一直無法平衡,於2008年出售給比亞迪。

中寧微電子

8英寸項目開始於2003年。在說中寧前,要說一下其核心籌備人李康智。李康智畢業於臺灣清華大學核工系,後在美獲得材料工程博士後,先後在仙童半導體、英特爾擔任工程師,1990年代加臺灣後,在德碁、聯電累積了幾年半導體工廠經驗,並從處長、協理一直幹到副總。2001年來到大陸參與宏力半導體的籌備,2003年離開宏力,開始尋求新項目。2003年11月,由李康智負責籌備的中寧微電子項目落戶寧波,計劃投資9億美元建設8英寸生產線。寧波非常重視此項目,2004年3月22日,市政府專門成立了“中寧微電子8英寸芯片生產項目協調領導小組”;2004年寧波市人民政府辦公廳“關於印發2004年政府工作報告主要任務分解的通知”中,中寧微電被列為重點細化項目:當年4月要破土動工,年底要完成大部分土建工程以及部分設備採購。到了2005年9月,由於融資不順,中寧微電子項目偃旗息鼓,李康智也回到臺灣
擔任光罩公司臺灣鴻準的總經理。

2005年隨著江豐電子超高純度濺射靶材基地的落戶,才使寧波避免出現集成電路發展真空期。

2014年隨著《推進綱要》的發佈實施,寧波市為深入貫徹落實《推進綱要》,提出了“芯港小鎮”的建設規劃。據悉,作為國內首個特色工藝基地、全國唯一集成電路特色小鎮,芯港小鎮將以寧波芯空間集成電路產業園為核心,下設寧波集成電路製造基地、寧波集成電路材料基地及國家科技部02專項基地等特色項目,打造全國芯片重鎮。力爭在高壓模擬、射頻前端、特種半導體技術製造和設計服務等多個領域填補國內產業鏈的空白。

2016年6月,中芯國際和寧波市達成戰略合作協議,共同建設高壓模擬及特色工藝集成電路產線,總投資超百億元。在完成對寧波日銀IMP所有產品及工藝的知識產權以及生產設備的收購後,項目於2018年3月正式啟動首條8英寸產線N1的建設,僅僅8個月就完成設備的安裝調試,於11月正式投產,並進行第二條8英寸產線N2的建設。。

N1產線的投產,這是寧波歷史上第一條8英寸產線,標誌著寧波市的集成電路產業進入了快速發展階段。

中芯寧波技術定位於國內產業佈局相對薄弱的高壓模擬、射頻前端和光電集成等特種芯片領域,採用“專業化晶圓代工(Foundry)與定製化產品代工(VODM)”商業模式,堅持自主工藝,到力於成為具有國際先進水平的特種工藝晶圓製造代工及專業模擬集成電路設計服務廠商。

隨著中芯寧波項目的落地,小鎮也吸引了大批相關配套項目落戶,包括安集微電子化學機械拋光液項目和南大光電“ArF光刻膠”產品大規模生產線項目。

五、紹興“芯”澎湃

紹興是浙江集成電路產業的發源地,前文提到的華越是浙江集成電路產業的芯火種。1990年代在和無錫競爭908工程基地時,紹興不幸出局,錯失一次提升城市地位的關鍵機會。此後,紹興在集成電路產業發展中沒有更多聲音。

2014年國家發佈《推進綱要》,紹興“芯”又再次開始啟動。

2018年3月,中芯國際和紹興市舉行8英寸晶圓製造線簽約儀式,項目首期投資58.8億元人民幣。項目主要面向微機電(MEMS)和功率器件集成電路領域,專注於晶圓和模組代工;二期將引入晶圓級封裝和模組封裝,建設並形成一個綜合性的特色工藝基地,快速佔據國內市場領導地位。

2018年5月18日,8英寸項目一期廠房舉行奠基儀式;2019年6月19日,主體工程結頂;9月開始設備安裝調試,有望年底實現生產線的試運行;預計2020年3月正式投產。

以中芯紹興項目為契機,紹興市提出打造“集成電路小鎮”的發展規劃,計劃到2022年小鎮形成200億產值,到2025年小鎮形成500億產值,成為國家級集成電路產業園示範區。在晶圓製造方面,以中芯國際集成電路8英寸生產線項目為載體,大力發展以微機電系統、功率器件為主的特種工藝晶圓製造,到2022年,產值達到50億元,目標建成國內微機電和功率集成系統製造中心;在集成電路設計方面,依託北斗導航產業園等平臺,重點發展面向無線通信、物聯網、新能源汽車、消費電子等集成電路設計產業並與應用市場接軌;到2022年,產值達到25億元,目標建成全國集成電路產業設計基地;在半導體設備製造方面,硅片設備、刻蝕設備、量測設備、封測設備等集成電路專用裝備實現規模化商用,到2022年,產值達到120億元,目標建成全國半導體設備製造中心;在集成電路封裝測試方面,重點聚焦晶圓凸塊、晶圓級封裝等先進技術,建立國內領先的先進封測生產線和封裝技術研發中心。

六、結語

目前浙江省已經形成了涵蓋設計、製造、封裝測試、裝備材料的全產鏈格局,但還是處於初步階段,產業鏈實力相對薄弱,存在企業規模較小、高端人才欠缺等問題。

浙江要想成為集成電路大省,想要真正在打造“中國芯”的道路上,承擔更多責任,還必須進一步健全產業鏈、持續提升競爭力。希望浙江沉下心來,打造國之利器。

END


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