據《科創板日報》報道，中國法院網日前發佈了一份公告，顯示中微半導體設備（上海）有限公司作為第三人，與威科儀器有限公司存在行政專利糾紛。
根據法院起訴狀副本顯示，該案由北京知識產權法院受理，起訴方是威科儀器有限公司，就此前一項專利行證糾紛對國家知識產權局、中微公司發起行政專利訴訟。法院已依法向中微公司公告送達起訴副本、舉證通知書、當事人參加訴訟須知、原告證據以及開庭傳票，將於2020年9月10日下午14時開庭審理此案。
截至發稿前，中微公司未對該案予以置評。
根據國際電子商情報道，這起訴訟可以追溯到2017年的一起專利無效案。
2017年5月，中微半導體向國家知識產權局申請對威科儀器的專利進行無效宣告，而國家知識產權局於2017年9月開始審理，並於2018年1月決定由威科儀器申請的“通過化學汽相沉積在晶片上生長外延層的無基座式反應器（專利號 018225507.1）”發明專利無效。
威科儀器對國家知識產權局審理的專利無效決定感到不服，並向北京知識產權法院提起行政訴訟，該案於2018年就被受理，卻決定2020年9月10日下午14時才開庭審理。
據科創板日報報道，威科儀器即是維易科（VECO，納斯達克上市美資公司），後者主要從事薄膜加工設備的研發、生產和銷售，並且在MOCVD 設備領域是中微公司的主要競爭對手之一。而《電子工程專輯》近日也報道了中微公司5納米等離子體蝕刻機用於臺積電的消息，在中微2019年財報中，也提及其MOCVD產品線，並表示作為全球氮化鎵基LED MOCVD設備領先廠商，中微公司已經積累了MOCVD設備的技術和開發經驗。目前，用於Mini LED生產的MOCVD設備正在積極研發中，中微公司同時也在開發製造Micro LED和功率器件的MOCVD設備。
本次“化學氣相沉積裝置”專利涉及的MOCVD設備為生產半導體器件如發光二極管（LED）芯片的核心設備，佔據半導體行業價值鏈的重要位置，對產業發展具有重要影響。
2017年，中微公司曾與維易科產生過專利糾紛。維易科以侵犯其專利、未經維易科同意向中微有限及其客戶供應基片托盤為由，在紐約東區法院對 SGL Carbon， LLC 及 SGL Group SE提起專利侵權之訴。當時紐約東區法院作出禁止 SGL 向中微公司及其客戶供應基片托盤的禁令。
中微方面則在2017年7月，以維易科精密儀器國際貿易（上海）有限公司（外國法人獨資，維易科全資持有）侵犯專利權為由向福建省高級人民法院提起訴訟。指控其TurboDisk EPIK 700型號的MOCVD設備侵犯了中微的基片托盤同步鎖定的中國專利，要求其停止侵權並主張上億元侵權損害賠償。
中微起訴後，上海維易科以及一位自然人均對該涉案的中微專利向專利複審委提起無效宣告請求。但專利複審委最終認定中微專利有效，2017 年12月，福建省高級人民法院裁定上海維易科立即停止一切侵權行為。
2018年，維易科精密儀器國際貿易（上海）有限公司於2018年就專利權人中微半導體設備（上海）有限公司的實用新型專利權（專利號：ZL201220056049.5）再次提出的無效宣告請求，國家知識產權局原專利複審委員會經審理作出審查決定，在修改後的權利要求書的基礎上維持中微半導體專利權有效。
在國家知識產權局作出決定後，中微公司與 SGL、維易科曾簽訂《和解協議》，三方均撤回相關訴訟及未決的專利複審請求。當時《電子工程專輯》也做出了報道，維易科的董事長兼首席執行官約翰·皮勒還就此事評述道：“我高興地報告大家，我們已經達成了一個共同商定的對現存知識產權糾紛的和解方案。這使我們的MOCVD業務恢復正常運營。”
中微董事長兼首席執行官尹志堯博士當時也表示：“競爭對手們基於全球客戶的利益該如何解決好知識產權事宜，這次和解是一個很好的例證。”
如今這個專利行政糾紛再起波瀾，或許與中微公司登陸科創板有關，後續進展如何，電子工程專輯也將持續關注。
責編：Luffy Liu
