課程名稱：光學MEMS和傳感器培訓課程
主辦單位：麥姆斯諮詢
協辦單位：無錫微納產業發展有限公司、華強電子網
支持單位：華強智造、新微創源孵化器、創星咖啡
一、課程簡介
MEMS與光學技術相互交叉融合，誕生了MEMS的核心分支技術——光學MEMS（也稱為MOEMS），為光學技術的發展帶來了新的發展動力和機遇，一大批新器件、新工藝推動了光學技術的快速發展。光學MEMS主要分為光學傳感器和光學執行器兩大類。光學傳感器是一種基於光學原理，採用光電敏感元件實施測量的傳感器，其具有許多優點，如非接觸和非破壞性測量等，廣泛應用於消費類智能手機、汽車類自動駕駛系統、工業類零部件測量系統等。光學執行器是將微型光學元件與MEMS微動元件有機組合而構成動態光學系統，主要應用於智能光通信器件、光顯示等。
光學MEMS和傳感器是整個MEMS、傳感器和執行器分類的重要組成部分
消費電子領域最熱門的話題無疑是iPhone X攜近紅外3D攝像頭開啟3D視覺技術在消費領域的“人工智能（AI）+人臉識別”元年。3D視覺方案採用的諸多光學元器件，涉及多種光學MEMS和傳感器，例如MEMS掃描鏡、ToF圖像傳感器、光電探測器、垂直腔面發射激光器（VCSEL）、衍射光學元件（DOE）等，從而促使3D成像和傳感器件市場蓬勃發展。
2011~2023年3D成像和傳感器件市場預測
在汽車電子領域，自動駕駛系統炙手可熱，以激光雷達（LiDAR）為代表的汽車傳感器也隨之升溫。業界對機械旋轉式激光雷達持“過渡產品”的觀點。採用MEMS掃描鏡的混合固態激光雷達，則是最有希望快速成熟的方案，有望集成於第一代L3級以上的自動駕駛汽車。而閃光面陣式激光雷達（Flash LiDAR）和光學相控陣激光雷達（OPA LiDAR）將成為全固態激光雷達最主流的技術。不論激光雷達屬於哪個“流派”，但是其中的光學MEMS和傳感器技術必將獲益良多。
2023年智能汽車產業的3D成像傳感器和LiDAR市場規模將達到9億美元，複合年增長率高達44%
另外，紅外熱成像儀可以為汽車自動駕駛系統的傳感器數據融合增添新的維度信息，使自動駕駛系統在任何情況下（尤其是夜間行駛）均可正常工作。紅外熱成像儀的核心部件是紅外焦平面陣列探測器，其能夠探測、識別和分析物體的遠紅外（FIR）信息。
為此，麥姆斯諮詢特開設《光學MEMS和傳感器培訓課程》，主要針對消費電子領域的3D視覺關鍵技術、光學指紋傳感技術，汽車電子領域的激光雷達關鍵技術進行全面詳盡的講解，並剖析核心元器件的產業鏈及主要供應商情況，包括：MEMS微鏡、紅外焦平面陣列探測器、垂直腔面發射激光器（VCSEL）、衍射光學元件（DOE）、硅光電倍增管（SiPM）、ToF圖像傳感器、可見光圖像傳感器和光學指紋傳感器等熱門元器件的技術和應用。
本課程贈送兩門選修課程，分別是麥姆斯諮詢主講的《MEMS設計工具Tanner軟件及MEMS光學器件應用》；全球多物理場建模解決方案的提倡者與領導者COMSOL與麥姆斯諮詢獨家合作提供的《MEMS（光學傳感器方向）有限元設計軟件COMSOL Multiphysics及其應用》。時間：10月18日下午13:30-16:30。
二、培訓對象
本課程主要面向光學MEMS和傳感器相關企業（包括設計公司、晶圓代工廠、封裝和測試廠、模組及應用廠商、半導體設備及原材料供應商）的技術人員和管理人員、高校師生，同時也歡迎其他希望瞭解光學MEMS和傳感器技術產業和應用的非技術背景人員參加，如銷售和市場人員、投融資機構人員、政府管理人員等。
三、培訓時間
選修課程：2018年10月18日13:30~16:30；
正式課程：2018年10月19日全天、10月20日全天和10月21日上午，共計2.5天。
授課結束後，為學員頒發麥姆斯諮詢的結業證書。
四、培訓地點
無錫市菱湖大道200號中國傳感網國際創新園（具體地點以培訓前一週的郵件通知為準）
五、課程內容
選修課程（一）：MEMS設計工具Tanner軟件及MEMS光學器件應用
講師：無錫麥姆斯諮詢有限公司 EDA培訓講師 肖莉
授課內容：
Mentor Graphics是電子設計自動化（EDA）技術的領導供應商，提供完整的軟件和硬件設計解決方案，是全球三大EDA供應商之一。在MEMS領域，Mentor Graphics已成功與樓氏電子、美新半導體、ams、Vesper等著名MEMS廠商合作。本課程將重點介紹Mentor Graphics的EDA設計工具Tanner的主要功能和MEMS光學器件的設計案例分享。
課程大綱：
（1）使用Tanner在物聯網周邊智能器件設計中融合CMOS IC與MEMS；
（2）Tanner設計全流程及工具介紹；
（3）利用Tanner L-Edit MEMS獨特的版圖編輯和驗證功能，化解MEMS設計挑戰；
（4）利用Tanner L-Edit MEMS快速完成MEMS設計，準備有限元分析；
（5）MEMS光學器件的設計案例分享。
選修課程（二）：MEMS（光學傳感器方向）有限元設計軟件COMSOL Multiphysics及其應用
講師：COMSOL中國 應用工程師 張凱
授課內容：
COMSOL Multiphysics包括一組核心物理場接口，涵蓋電氣、機械、流體和化工等應用領域。在COMSOL Multiphysics軟件中，不論幾個物理場都可以在同一個仿真中耦合起來。此外，它具備與各種CAD格式和程序的接口，用於數據傳遞和可視化。軟件內預設好的MEMS相關物理接口提供模擬大多數MEMS器件的專用功能。並且這些功能還可以與其他模塊（如波動光學模塊和射線光學模塊等）中提供的高級功能相結合。同時此次本課程會分享COMSOL Multiphysics在包括微鏡、陣列探測器、DOE、光學指紋傳感器等光學器件多物理場仿真設計的應用解決方案。
課程大綱：
（1）COMSOL Multiphysics特徵功能及在光學MEMS器件多物理場仿真設計分析特點；
（2）COMSOL Multiphysics在光學傳感器多物理場耦合分析案例實探及建模流程——選取DOE設計為例；
（3）COMSOL Multiphysics APP在光學傳感器中應用——DOE設計流程化拓展；
（4）COMSOL Multiphysics在其他各類光學傳感器中的應用及解決方案展示。
課程一：MEMS微鏡技術及應用
講師：西北工業大學 教授 喬大勇
授課內容：
MEMS微鏡是光學MEMS執行器的典型器件，技術門檻高，對材料的要求苛刻。作為3D攝像頭和混合固態激光雷達的核心元器件，MEMS微鏡前景光明。本課程將對MEMS微鏡的原理、設計、製造、封裝和測試、應用和產業鏈進行全面講授。
課程大綱：
（1）MEMS微鏡結構和應用前景；
（2）MEMS微鏡工作原理（靜電、電熱、電磁、壓電）；
（3）MEMS微鏡設計、製造、封裝和測試的主要問題和解決方法；
（4）MEMS微鏡產業鏈及主要供應商情況。
課程二：紅外焦平面陣列探測器技術及應用
講師：浙江大立科技股份有限公司 副總經理 姜利軍
授課內容：
紅外焦平面陣列探測器是紅外設備的核心器件，專業跨度大，對材料提純、製造工藝、封裝測試工藝各個環節要求極高。該器件在軍事和民用領域均有舉足輕重的應用。如何衝破國外技術防線，打造中國“紅芯”？本課程將從紅外焦平面陣列探測器的工作原理、設計、製造、封裝和測試、應用和產業鏈等方面進行詳細說明。
課程大綱：
（1）紅外焦平面陣列探測器工作原理；
（2）紅外焦平面陣列探測器應用前景及市場介紹；
（3）紅外焦平面陣列探測器設計、製造、封裝和測試主要問題和解決方法；
（4）紅外焦平面陣列探測器產業鏈及主要供應商情況。
課程三：紅外光源（以VCSEL為主）技術及應用
講師：華芯半導體科技有限公司 研發項目負責人 呂朝晨
授課內容：
紅外光源是3D視覺系統工作的“源頭”，是實現深度測量的主要“功臣”之一。VCSEL在iPhone X上應用後，成為產業界和投資界熱捧的器件，2017年VCSEL整體市場規模達到3.3億美元，2023年將爆發至35億美元。本課程將對紅外光源分類進行梳理，對VCSEL的設計、製造、封裝和測試、應用和產業鏈進行深入講解。
課程大綱：
（1）紅外光源介紹（紅外LED、EEL和VCSEL）；
（2）VCSEL結構、工作原理和應用領域（數據通信、3D成像、激光雷達等）和典型案例分享；
（3）VCSEL設計、製造、封裝和測試的主要問題和解決方法；
（4）VCSEL產業鏈及主要供應商情況。
課程四：衍射光學元件（DOE）技術及應用
講師：北京馭光科技發展有限公司 董事長兼CEO 田克漢
授課內容：
主動衍射光學元件（Active DOE）是iPhone X中的紅外點陣投影器四項創新之一。與傳統光學元件相比，DOE具有光場分佈複雜、兼顧微型化和集成化的優勢，主要應用於3D結構光解決方案。但DOE設計、製造門檻非常高，並且需要根據應用進行定製開發，因而成為3D視覺系統設計的重大難點。本課程將從DOE的工作原理、設計、製造、封裝和測試、應用和產業鏈等方面深入闡述。
課程大綱：
（1）DOE結構、工作原理和應用前景；
（2）DOE設計、製造和組裝的主要問題和解決方法；
（3）DOE產業鏈及主要供應商情況。
課程五：硅光電倍增器（SiPM）技術及應用
講師：北京師範大學 教授 韓德俊
授課內容：
新型光電半導體器件——硅光電倍增管（Silicon Photomultiplier，SiPM），由多個工作在蓋革模式的APD陣列組成，具有高增益、高探測效率、快速響應、優良時間分辨率和寬光譜響應範圍等特點。在905nm處適合各種場合下的激光雷達應用，尤其是使用ToF測距法的長距離測量。本課程將對SiPM的發展、原理、應用、常見問題及解決方法、產業鏈進行深入講解。
課程大綱：
（1）硅基弱光探測器的發展歷程；
（2）SiPM的工作原理及主要性能參數；
（3）不同供應商提供的SiPM產品的特色和差異；
（4）SiPM實際使用常見問題及解決方法；
（5）SiPM的應用前景及展望。
課程六：ToF圖像傳感器技術及應用
講師：ESPROS Photonics Corporation 中國區技術支持 金豐
授課內容：
ToF圖像傳感器因在3D人臉識別、汽車車內手勢識別、激光雷達等方面的應用受到國際巨頭和初創企業的熱捧。ToF圖像傳感器與傳統CMOS圖像傳感器的差異在哪裡？在設計、製造、封裝和測試方面有哪些獨特之處？如何解決量子效率（QE）等光學性能問題？本課程將從ToF圖像傳感器的工作原理、設計、製造、封裝和測試、應用和產業鏈進行全面探討。
課程大綱：
（1）ToF圖像傳感器分類（如cwToF和pToF）工作原理；
（2）ToF圖像傳感器設計、製造、封裝和測試的主要問題和解決方法；
（3）ToF圖像傳感器產業鏈及主要供應商情況；
（4）ToF傳感器應用案例分享（工業機器人、汽車激光雷達、手機3D視覺等）。
課程七：可見光圖像傳感器、光學指紋傳感器技術及應用
講師：蘇州多感科技有限公司 聯合創始人兼執行董事 王騰
授課內容：
可見光圖像傳感器是組成數字攝像頭的重要組成部分，主要市場份額主要由智能手機攝像頭、汽車先進駕駛輔助系統組成。光學指紋傳感器已成為指紋識別技術領域冉冉升起的新星，小米8和vivo AI智慧旗艦手機NEX等採用屏下光學指紋技術就是最有力的證明！本課程將對可見光圖像傳感器和光學指紋傳感器的工作原理、設計、製造、封裝和測試、應用和產業鏈進行詳細介紹。
課程大綱：
（1）可見光圖像傳感器的分類（CCD和CIS）及工作原理；
（2）可見光圖像傳感器設計、封裝工藝和先進案例分析；
（3）可見光圖像傳感器產業鏈及主要供應商情況；
（4）光學指紋傳感器的工作原理和應用場景；
（5）光學指紋傳感器的設計、封裝工藝和先進案例分析；
（6）光學指紋傳感器產業鏈及主要供應商情況。
六、師資介紹
肖莉，無錫麥姆斯諮詢有限公司行業研究員兼EDA培訓講師。她獲得四川大學微電子學士學位、北京大學集成電路製造工程碩士，擁有10多年半導體行業經驗，曾就職於華潤上華科技有限公司，精通模擬、數字IC以及DMOS功率器件製造工藝，在MEMS與IC工藝集成方面擁有豐富的實戰經驗。
張凱，COMSOL中國應用工程師。他獲得上海大學理論物理學碩士，多年來一直從事COMSOL軟件的技術支持和客戶諮詢工作，在數值分析領域積累了豐富的經驗，主要涉及電磁、傳熱、結構和光學等領域的多物理場仿真建模。
喬大勇，西北工業大學博士生導師、教授，知微傳感董事長兼創始人，連續創業者，曾作為聯合創始人及總經理運營西安勵德微系統科技有限公司，微機電系統（MEMS）領域資深專家。他先後主持包括國家自然科學基金和863計劃在內的科研項目14項，主要研究方向和研究內容包括：微光機電系統、微型能源、微納製造工藝。在西北工業大學博士出版“十一五”國家級規劃教材1部，在國內外重要學術刊物上共發表研究論文80餘篇，被SCI、EI收錄50餘篇，獲得已授權發明專利20項。
姜利軍，博士，浙江大立科技股份有限公司副總經理。他長期從事非製冷紅外焦平面探測器研製及生產，先後實現35um、25um、17um、15um、12um像元探測器的批量化製造和應用，完成了百萬級像素的非製冷紅外焦平面探測器研製。擔任核高基、重大科學儀器開發等國家重大專項負責人。
呂朝晨，碩士，本科畢業於山東理工大學理學院光信息科學與技術系，碩士畢業於北京工業大學激光工程研究院，主要研究方向為高速850nm VCSEL陣列研究。現任華芯半導體科技有限公司任研發項目負責人，主要負責光通信和光感測VCSEL芯片工藝研發與工藝固化。
田克漢，擁有清華大學精密儀器系本科及碩士學位，美國麻省理工學院博士學位。馭光科技創始人，任董事長兼CEO，負責整體戰略以及技術開發。創立馭光科技前，他在IBM工作9年，擔任（教授級）資深科學家/技術經理，擁有60餘項發明專利，榮獲杭州市“521”計劃人才、2014年浙江省創新長期類“千人計劃”、2016年國家創業人才“千人計劃”。
韓德俊，博士，擔任北京師範大學核科學與技術學院教授。他主要從事新穎半導體器件物理及技術、半導體光電子學、半導體輻射探測器及相關電子學、弱光探測技術及應用以及生物傳感器方向的研究工作。先後主持多項國家自然科學基金以及863計劃、教育部、北京市的科研基金項目，研究過的課題包括GaAs MESFET、GaAs/AlGaAs HPT、高純區熔硅X射線探測器研究，掩埋雙pn結（BDJ）波長探測器研製及其應用，硅漂移探測器（SDD）研究，硅光電倍增器（SiPM）研製及其應用等。
金豐，碩士，畢業於武漢大學微電子專業，擁有多年3D ToF芯片開發以及傳感應用解決方案設計經驗。他於2012年加入ESPROS（璦鐠瑞思）光學有限公司，現任ESPROS中國區市場及技術支持，全面負責在中國地區的技術開發和業務拓展。
王騰，蘇州多感科技有限公司聯合創始人兼執行董事。他曾擔任華天科技（崑山）電子有限公司技術總監兼先進封裝研究院院長。2005年獲得同濟大學工學學士，分別於2006與2011年獲得瑞典查爾姆斯理工大學微技術與納米科學系碩士及博士學位。2011年至2017年就職於比利時微電子研究中心（IMEC），任三維集成部門高級研發工程師。多年從事先進三維與晶圓級封裝技術研發，在頂級國際雜誌與會議上發表論文80餘篇，並有10餘項專利申請或授權，涵蓋先進封裝工藝、材料、設備、測試技術、可靠性與失效分析等眾多領域。
七、報名方式
名額有限，瞭解報名方式和培訓費用請發送電子郵件至penglin#memsconsulting.com（#換成@）或zhaotingting#memsconsulting.com（#換成@），郵件題目格式為：報名+光學MEMS和傳感器培訓課程+單位名稱+人數。
麥姆斯諮詢
聯繫人：彭琳
E-mail：penglin#memsconsulting.com（#換成@）
麥姆斯諮詢
聯繫人：趙婷婷
E-mail：zhaotingting#memsconsulting.com（#換成@）
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